[发明专利]一种利用高能等离子体轰击工件表面并形成光滑镀层的设备

权利要求书

1.一种利用高能等离子体轰击工件表面并形成光滑镀层的设备，包括外壳体(1)、内壳体(11)、工作台(12)、靶材(13)、电机(14)、旋转轴(2)、一号轴承(21)，所述内壳体(11)将外壳体(1)内分割为溅镀空间和容置空间；所述靶材(13)固定连接在溅镀空间的顶部，靶材(13)的下方设有工作台(12)；所述工作台(12)固定连接在外壳体(1)的底板上；所述旋转轴(2)设置于容置空间内，旋转轴(2)下端与电机(14)的轴端固定连接，旋转轴(2)的中部通过一号轴承(21)转动连接在内壳体(11)侧壁上；所述电机(14)固定连接在外壳体(1)的底板上；其特征在于：还包括固定环(3)、永磁铁(31)、转动杆(4)、推力轴承(5)、环形磁铁(41)、弹簧、挡板(42)、磁性隔离模块(6)，所述旋转轴(2)上端的圆柱面上设有一组永磁铁(31)；所述固定环(3)的上下端各设有一个推力轴承(5)；所述推力轴承(5)固定连接在内壳体(11)表面；所述固定环(3)的内侧圆柱面上设有一组永磁铁(31)，固定环(3)的外侧圆柱面上设有一组转动杆(4)；所述转动杆(4)一端固定连接在固定环(3)的外侧圆柱面上，转动杆(4)的另一端固定连接挡板(42)，转动杆(4)上滑动连接一组环形磁铁(41)；所述环形磁铁(41)的正负极沿轴向分布，相邻的环形磁铁(41)的极性相同，靠近固定环(3)一端的环形磁铁(41)与固定环(3)之间设有弹簧，靠近挡板(42)一端的环形磁铁(41)与挡板(42)之间设有弹簧；所述旋转轴(2)上端与固定环(3)之间设有磁性隔离模块(6)；所述磁性隔离模块(6)用于阻挡旋转轴(2)上的永磁铁(31)对固定环(3)上的永磁铁(31)的吸引；

所述磁性隔离模块(6)包括隔离筒(61)、固定轴(62)、平键(63)、弹簧、滑动轴(64)、支撑筒(65)、摩擦片(66)、一号气缸(67)，所述隔离筒(61)设置在旋转轴(2)和固定环(3)之间，隔离筒(61)上端通过平键(63)滑动连接在固定轴(62)上；所述固定轴(62)上端固定连接在外壳体(1)的顶板上；所述隔离筒(61)上端面与外壳体(1)的顶板之间设有弹簧；所述固定轴(62)的下端端面上的安装孔内滑动连接滑动轴(64)的上端；所述滑动轴(64)的上端与固定轴(62)的安装孔内壁之间设有弹簧，滑动轴(64)的轴肩端面与隔离筒(61)的内壁之间设有支撑筒(65)；所述支撑筒(65)上端与隔离筒(61)内壁接触配合，支撑筒(65)下端与滑动轴(64)的轴肩接触配合；所述滑动轴(64)的下端固定连接一块环形摩擦片(66)；所述旋转轴(2)的上端面上固定连接一块环形摩擦片(66)，转动轴的上端面的安装孔内固定连接一号气缸(67)；所述一号气缸(67)缸杆端部设置成球形；

所述隔离筒(61)的筒壁上设置一组矩形通孔，隔离筒(61)上的矩形通孔内设有摩擦轮(68)；所述摩擦轮(68)为锥形滚轮，摩擦轮(68)的下端通过转轴转动连接在矩形通槽的内壁上，隔离筒(61)的内外侧各设置一个摩擦轮(68)，隔离筒(61)内侧的摩擦轮(68)与旋转轴(2)上端的锥面接触，隔离筒(61)外侧的摩擦轮(68)与固定环(3)上的锥面接触，隔离板内外侧的摩擦轮(68)的上端通过转轴转动连接在隔离筒(61)的筒壁上；

所述摩擦轮(68)的锥面上设置一组环状矩形槽；

所述滑动轴(64)的轴肩上固定连接扇叶(69)；

所述旋转轴(2)的右侧设有传动滚轮(71)；所述传动滚轮(71)转动连接在固定支架(72)的左端，传动滚轮(71)的圆柱面与旋转轴(2)的圆柱面接触，传动滚轮(71)为分体式，上下的传动滚轮(71)通过连接轴连接；所述连接轴与传动滚轮(71)的转轴偏心设置，连接轴上转动连接连杆(73)的左端；所述连杆(73)的右端转动连接在活塞(74)的端部；所述活塞(74)滑动安装在固定支架(72)中部的腔体内；所述固定支架(72)上的腔体右端依次连接单向阀(75)、储气罐(76)、电磁阀(77)、环状通气元件(78)；所述环状通气元件(78)转动连接在旋转轴(2)上，环状通气元件(78)内侧圆柱面上设置环形槽；所述旋转轴(2)内设置气路，旋转轴(2)内的气路用于连通一号气缸(67)和环状通气元件(78)。