[发明专利]角度板组件及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201810974904.2 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN108977773B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 贾晓晨 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种角度板组件及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，可简化角度板的安装、拆卸等操作过程。该角度板组件包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。 | ||
| 搜索关键词： | 角度 组件 装置 | ||
【主权项】：
1.一种角度板组件，其特征在于，包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，未经京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810974904.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种蒸镀装置及其蒸镀腔体
- 下一篇：坩埚、蒸镀装置和蒸镀方法
- 同类专利
- 专利分类
