[发明专利]角度板组件及蒸镀装置

权利要求书

1.一种角度板组件，其特征在于，包括：

用于套设在喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；

与所述喷嘴套连接的角度板；

所述喷嘴套与所述角度板为一体结构。

2.根据权利要求1所述的角度板组件，其特征在于，所述喷嘴套由导热材料制成。

3.根据权利要求2所述的角度板组件，其特征在于，所述角度板由导热材料制成。

4.根据权利要求3所述的角度板组件，其特征在于，所述角度板表面光滑。

5.根据权利要求2或3所述的角度板组件，其特征在于，所述导热材料包括：铜、铝、钼、钨、锌、镍、铁中的至少一种。

6.一种蒸镀装置，包括具有喷嘴的蒸镀源；其特征在于，还包括：如权利要求1至5任一项所述的角度板组件，其中，

喷嘴套与角度板为一体结构。

7.根据权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀源包括：第一蒸镀源；

所述第一蒸镀源包括：第一蒸镀容器；盖设在所述第一蒸镀容器的开口上的第一盖体；其中，

所述第一盖体上设有沿一排间隔设置的多个用于喷射蒸镀材料的所述喷嘴；所述喷嘴为第一喷嘴；每个第一喷嘴垂直于所述第一盖体设置；

所述角度板组件包括：第一角度板组件；

所述第一角度板组件包括：用于套设在每个所述第一喷嘴上的第一喷嘴套；与每个第一喷嘴套连接的第一角度板；其中，

所述第一角度板包括：位于多个第一喷嘴套排列方向两侧的第一角度板主体，连接所述第一角度板主体与每个第一喷嘴套的第一连接部；所述第一角度板主体垂直于所述第一盖体设置。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述多个第一喷嘴套中的至少一个与所述第一盖体相接触，且与所述第一盖体相接触的所述第一喷嘴套由导热材料制成。

9.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，

所述蒸镀源还包括：设置在所述第一蒸镀源两侧中的至少一侧处的第二蒸镀源；

所述第二蒸镀源包括：与所述第一蒸镀容器并排设置的第二蒸镀容器；盖设在所述第二蒸镀容器的开口上的第二盖体；其中，

所述第二盖体上设有沿一排间隔设置的多个用于喷射蒸镀材料的所述喷嘴；所述喷嘴为第二喷嘴；每个第二喷嘴均朝向所述第一喷嘴倾斜设置；

所述角度板组件还包括：第二角度板组件；

所述第二角度板组件包括：用于套设在每个所述第二喷嘴上的第二喷嘴套；与每个第二喷嘴套连接的第二角度板；其中，

所述第二角度板包括：位于多个第二喷嘴套远离所述第一角度板主体一侧的第二角度板主体，连接所述第二角度板主体与每个第二喷嘴套的第二连接部；所述第二角度板主体垂直于所述第二盖体设置。

10.根据权利要求9所述的蒸镀装置，其特征在于，所述多个第二喷嘴套中的至少一个与所述第二盖体相接触，且与所述第二盖体相接触的所述第二喷嘴套由导热材料制成。