[发明专利]角度板组件及蒸镀装置

说明书

本发明提供一种角度板组件及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，可简化角度板的安装、拆卸等操作过程。该角度板组件包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种角度板组件及蒸镀装置。

背景技术

在高真空蒸镀系统中，放置在蒸镀容器(如坩埚)中的蒸镀材料经气化或升华后，通过喷嘴将蒸镀材料喷出；喷嘴周围设置有用于限定蒸镀材料从喷嘴喷射出的运行方向和蒸镀区域的角度板，以使得蒸镀材料蒸镀到基板(如玻璃)上的相应区域内。

在现有技术中，角度板通常是通过紧固件(如螺丝)固定在蒸镀容器上，安装操作较为麻烦；并且，完成蒸镀工艺后，还需要对角度板进行清洗，通过紧固件固定的方式也不便于角度板的拆卸操作。

发明内容

鉴于此，为解决现有技术的问题，本发明的实施例提供一种角度板组件及蒸镀装置，可简化角度板的安装、拆卸等操作过程。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例提供了一种角度板组件，包括：用于套设在所述喷嘴上的喷嘴套，且所述喷嘴套露出所述喷嘴的出口；与所述喷嘴套连接的角度板。

可选的，所述喷嘴套由导热材料制成。

可选的，所述角度板由导热材料制成。

可选的，所述角度板表面光滑。

可选的，所述导热材料包括：铜、铝、钼、钨、锌、镍、铁中的至少一种。

本发明实施例还提供了一种蒸镀装置，包括具有喷嘴的蒸镀源；还包括：上述任一项所述的角度板组件。

可选的，所述蒸镀源包括：第一蒸镀源；所述第一蒸镀源包括：第一蒸镀容器；盖设在所述第一蒸镀容器的开口上的第一盖体；其中，所述第一盖体上设有沿一排间隔设置的多个用于喷射蒸镀材料的所述喷嘴；所述喷嘴为第一喷嘴；每个第一喷嘴垂直于所述第一盖体设置；所述角度板组件包括：第一角度板组件；所述第一角度板组件包括：用于套设在每个所述第一喷嘴上的第一喷嘴套；与每个第一喷嘴套连接的第一角度板；其中，所述第一角度板包括：位于所述多个第一喷嘴套排列方向两侧的第一角度板主体，连接所述第一角度板主体与每个第一喷嘴套的第一连接部；所述第一角度板主体垂直于所述第一盖体设置。

可选的，所述多个第一喷嘴套中的至少一个与所述第一盖体相接触，且与所述第一盖体相接触的所述第一喷嘴套由导热材料制成。

可选的，所述蒸镀源还包括：设置在所述第一蒸镀源两侧中的至少一侧处的第二蒸镀源；所述第二蒸镀源包括：与所述第一蒸镀容器并排设置的第二蒸镀容器；盖设在所述第二蒸镀容器的开口上的第二盖体；其中，所述第二盖体上设有沿一排间隔设置的多个用于喷射蒸镀材料的所述喷嘴；所述喷嘴为第二喷嘴；每个第二喷嘴均朝向所述第一喷嘴倾斜设置；所述角度板组件还包括：第二角度板组件；所述第二角度板组件包括：用于套设在每个所述第二喷嘴上的第二喷嘴套；与每个第二喷嘴套连接的第二角度板；其中，

所述第二角度板包括：位于所述多个第二喷嘴套远离所述第一角度板主体一侧的第二角度板主体，连接所述第二角度板主体与每个第二喷嘴套的第二连接部；所述第二角度板主体垂直于所述第二盖体设置。

可选的，所述多个第二喷嘴套中的至少一个与所述第二盖体相接触，且与所述第二盖体相接触的所述第二喷嘴套由导热材料制成。