[发明专利]一种柔性液晶面板的TFT阵列基板及其制作方法有效
| 申请号： | 201810968116.2 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN108828863B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 石钰;陈兴武 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/1337;H01L27/12 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，包括：在基板表面制备非晶硅层；在所述非晶硅层表面制备TFT阵列；清洁所述TFT阵列表面；在所述TFT阵列表面制作聚二甲基硅氧烷基板；用激光自所述基板背面照射所述TFT阵列，使所述TFT阵列与所述非晶硅层脱离；将所述TFT阵列粘结固定到柔性基板上；将所述TFT阵列上的所述聚二甲基硅氧烷基板朝向同一个方向剥离。本发明通过朝同一个方向剥离TFT阵列基板上的聚二甲基硅氧烷，使得残留在TFT阵列基板上的聚二甲基硅氧烷可以对液晶分子依需求的方向进行配向，无需再进行低温配向层的制作，简化了现有的制作步骤，克服了制作困难，适用于柔性液晶面板的生产工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 液晶面板 tft 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，包括：在基板表面制备非晶硅层；在所述非晶硅层表面制备TFT阵列；清洁所述TFT阵列表面；在所述TFT阵列表面制作聚二甲基硅氧烷基板；用激光自所述基板背面照射所述TFT阵列，使所述TFT阵列与所述非晶硅层脱离；将所述TFT阵列粘结固定到柔性基板上；将所述TFT阵列上的所述聚二甲基硅氧烷基板朝向同一个方向剥离。
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