[发明专利]一种柔性液晶面板的TFT阵列基板及其制作方法有效
| 申请号： | 201810968116.2 | 申请日： | 2018-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN108828863B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 石钰;陈兴武 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/1337;H01L27/12 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;阳志全 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 液晶面板 tft 阵列 及其 制作方法 | ||
1.一种柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，包括：在基板表面制备非晶硅层，在所述非晶硅层表面制备TFT阵列；其特征在于，还包括：
清洁所述TFT阵列表面；
在所述TFT阵列表面制作聚二甲基硅氧烷基板；
用激光自所述基板背面照射所述TFT阵列，使所述TFT阵列与所述非晶硅层脱离；
将所述TFT阵列粘结固定到柔性基板上；
将所述TFT阵列上的所述聚二甲基硅氧烷基板朝向同一个方向剥离。
2.根据权利要求1所述的柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，清洁所述TFT阵列表面是通过氧气等离子体清洁的。
3.根据权利要求2所述的柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，所述氧气等离子体的清洁功率为2-100kW/m2。
4.根据权利要求1所述的柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，将所述TFT阵列粘结固定到柔性基板上具体包括：先将粘结剂涂覆在所述柔性基板上，再将所述TFT阵列粘结固定到所述柔性基板上。
5.根据权利要求1所述的柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，所述聚二甲基硅氧烷基板的剥离速度为1cm/s-10cm/s。
6.根据权利要求1-5任一所述的柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，在所述TFT阵列表面制作聚二甲基硅氧烷基板具体包括：
制备含有固化剂的聚二甲基硅氧烷预聚物；
通过加压模具将所述聚二甲基硅氧烷预聚物压印在所述TFT阵列上，得到聚二甲基硅氧烷基板；
对所述聚二甲基硅氧烷基板进行固化处理。
7.根据权利要求6所述的柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，所述聚二甲基硅氧烷预聚物的分子量为4000-8000，分子量分布大于4，所述聚二甲基硅氧烷预聚物中固化剂的含量为3％-7％。
8.根据权利要求6所述的柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法，其特征在于，所述聚二甲基硅氧烷基板的厚度为500um-2000um，固化温度为60-90℃。
9.一种柔性液晶面板的TFT阵列基板，其特征在于，由权利要求1-8任一所述的柔性液晶面板的TFT阵列基板的制作方法制得，包括基板、TFT阵列和聚二甲基硅氧烷。
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