[发明专利]一种基板固定结构及基板运送装置有效
| 申请号： | 201810961231.7 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109192693B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 代青 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基板固定结构及基板运送装置，所述基板固定结构包括：用于承载基板的承载台；设置于所述承载台的承载面上的微细纤维阵列，所述微细纤维阵列中各微细纤维具有磁性或顺磁性或超顺磁性，在无外部磁场时，通过与基板接触产生的范德华力吸附固定基板，在有外部磁场时，与外部磁场产生相互作用并发生弹性变形，以与基板分离；以及，设置于所述承载台上，用于控制所述承载台的承载面一侧产生磁场的磁场产生部。本发明所提供的基板固定结构及基板运送装置，在基板正常转移或固定过程中，基板不需要磁力的作用即可处于吸附状态，仅在需要解吸附的过程中才需要产生磁力，来磁力诱导的微细纤维的变形，可以节省能源，大大降低结构体积。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 结构 运送 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板固定结构，其特征在于，包括：用于承载基板的承载台；设置于所述承载台的承载面上的微细纤维阵列，所述微细纤维阵列中各微细纤维具有磁性或顺磁性或超顺磁性，在无外部磁场时，通过与所述基板接触产生的范德华力吸附固定基板，在有外部磁场时，与外部磁场产生相互作用并发生弹性变形，以与所述基板分离；以及，设置于所述承载台上，用于控制所述承载台的承载面一侧产生磁场的磁场产生部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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