[发明专利]一种基板固定结构及基板运送装置

权利要求书

1.一种基板固定结构，其特征在于，包括：

用于承载基板的承载台；

设置于所述承载台的承载面上的微细纤维阵列，所述微细纤维阵列中各微细纤维具有磁性，在无外部磁场时，通过与所述基板接触产生的范德华力吸附固定基板，在有外部磁场时，与外部磁场产生相互作用并发生弹性变形，以与所述基板分离；

以及，设置于所述承载台上，用于控制所述承载台的承载面一侧产生磁场的磁场产生部。

2.根据权利要求1所述的基板固定结构，其特征在于，

所述微细纤维阵列中各微细纤维的尺寸为微米或纳米级别。

3.根据权利要求2所述的基板固定结构，其特征在于，

所述微细纤维阵列中各微细纤维的尺寸为：所述微细纤维的长度为10-100μm、直径为1-10μm。

4.根据权利要求1所述的基板固定结构，其特征在于，

所述微细纤维阵列中各微细纤维包括与所述承载台固定的第一端及与所述第一端相对设置的用于吸附基板的第二端，其中所述第一端不具有磁性，所述第二端具有磁性。

5.根据权利要求1所述的基板固定结构，其特征在于，

所述微细纤维阵列中各微细纤维采用热塑性聚合物、弹性聚合物中的至少一种与纳米颗粒混合而成，所述纳米颗粒为具有磁性的纳米颗粒。

6.根据权利要求5所述的基板固定结构，其特征在于，

所述弹性聚合物包括二甲基硅氧烷、聚氨酯和聚氨酯丙烯酸酯中的一种或多种；

所述热塑性聚合物包括聚乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯和聚酰亚胺中的一种或多种。

7.根据权利要求5所述的基板固定结构，其特征在于，

所述弹性聚合物的弹性模量为0.1～100 MPa；

所述热塑性聚合物的杨氏模量范围为100 MPa ~1GPa。

8.根据权利要求1或4或5所述的基板固定结构，其特征在于，

所述磁性为顺磁性。

9.根据权利要求1或4或5所述的基板固定结构，其特征在于，

所述磁性为超顺磁性。

10.根据权利要求1所述的基板固定结构，其特征在于，

所述磁场产生部包括：通电时产生磁场的电磁装置；或者，永磁体装置，所述永磁体装置以可移动或可拆卸的方式设置于所述承载台的背离所述承载面的一侧。

11.根据权利要求10所述的基板固定结构，其特征在于，

所述磁场产生部包括相反极性的第一磁极和第二磁极，其中，所述第一磁极和所述第二磁极交错设置、阵列分布于所述承载台的背离所述承载面的一侧。

12.一种基板运送装置，其特征在于，包括如权利要求1至11任一项所述的基板固定结构。