[发明专利]一种基板固定结构及基板运送装置

说明书

本发明提供了一种基板固定结构及基板运送装置，所述基板固定结构包括：用于承载基板的承载台；设置于所述承载台的承载面上的微细纤维阵列，所述微细纤维阵列中各微细纤维具有磁性或顺磁性或超顺磁性，在无外部磁场时，通过与基板接触产生的范德华力吸附固定基板，在有外部磁场时，与外部磁场产生相互作用并发生弹性变形，以与基板分离；以及，设置于所述承载台上，用于控制所述承载台的承载面一侧产生磁场的磁场产生部。本发明所提供的基板固定结构及基板运送装置，在基板正常转移或固定过程中，基板不需要磁力的作用即可处于吸附状态，仅在需要解吸附的过程中才需要产生磁力，来磁力诱导的微细纤维的变形，可以节省能源，大大降低结构体积。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种基板固定结构及基板运送装置。

背景技术

现有的半导体生产线中，玻璃基板或硅晶元等基板的传输和转移，通常采用的是真空吸附的方式进行，即，在基板有多个真空吸盘与其接触，通过真空管道持续保持吸盘内为负压，达到基板与吸盘间的吸附，进而转移。但是，这种真空吸附转移过程中，需要真空管路以及配件(如后台的真空泵，阀门，电源等)开启，使得基板与吸盘之间一直处于真空吸附状态，成本相对较高，系统也较为复杂。

发明内容

本发明的目的在于提供一种基板固定结构及基板运送装置，结构简单，可以大大节省能源。

本发明所提供的技术方案如下：

一种基板固定结构，包括：

用于承载基板的承载台；

设置于所述承载台的承载面上的微细纤维阵列，所述微细纤维阵列中各微细纤维具有磁性或顺磁性或超顺磁性，在无外部磁场时，通过与所述基板接触产生的范德华力吸附固定基板，在有外部磁场时，与外部磁场产生相互作用并发生弹性变形，以与所述基板分离；

以及，设置于所述承载台上，用于控制所述承载台的承载面一侧产生磁场的磁场产生部。

进一步的，所述微细纤维阵列中各微细纤维的尺寸为微米或纳米级别。

进一步的，所述微细纤维阵列中各微细纤维的尺寸为：所述微细纤维的长度为10-100μm、直径为1-10μm。

进一步的，所述微细纤维阵列中各微细纤维包括与所述承载台固定的第一

端及与所述第一端相对设置的用于吸附基板的第二端，其中所述第一端不

具有磁性、顺磁性和超顺磁性，所述第二端具有磁性或顺磁性或超顺磁性。

进一步的，所述微细纤维阵列中各微细纤维采用热塑性聚合物、弹性聚合物中的至少一种与纳米颗粒混合而成，所述纳米颗粒为具有磁性或顺磁性或超顺磁性的纳米颗粒。

进一步的，所述弹性聚合物包括二甲基硅氧烷、聚氨酯和聚氨酯丙烯酸酯中的一种或多种；

所述热塑性聚合物包括聚乙烯、聚丙烯、聚甲基丙烯酸甲酯和聚酰亚胺中的一种或多种。

进一步的，所述弹性聚合物的弹性模量为0.1～100MPa；

所述热塑性聚合物的杨氏模量范围为100MPa～1GPa。

进一步的，所述磁场产生部包括：通电时产生磁场的电磁装置；或者，永磁体装置，所述永磁体装置以可移动或可拆卸的方式设置于所述承载台的背离所述承载面的一侧。

进一步的，所述磁场产生部包括相反极性的第一磁极和第二磁极，其中，所述第一磁极和所述第二磁极交错设置、阵列分布于所述承载台的背离所述承载面的一侧。

一种基板运送装置，包括如上所述的基板固定结构。

本发明所带来的有益效果如下：