[发明专利]一种ESD设备运行状况监测装置及其监测方法在审
| 申请号： | 201810957085.0 | 申请日： | 2018-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN109188126A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 徐仲亮;王业文;栗巍 | 申请（专利权）人： | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R19/25 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及ESD设备技术领域，更具体地说，它涉及一种ESD设备运行状况监测装置及其监测方法，其技术方案要点是：一种ESD设备运行状况监测装置，其包括检测单元；所述检测单元用于根据ESD设备的电容器充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常。根据本发明提供的技术方案,由于检测单元可以根据ESD设备的电容器充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常，从而作业人员在ESD设备工作时可以随时了解ESD设备的运行状况，当ESD设备运行不正常时，可以及时对ESD设备进行维修或更换，可有效防止ESD设备静电防护失效的情况发生。 | ||
| 搜索关键词： | 设备运行状况 监测装置 电容器充放电 判定规则 预设 检测 判定 技术方案要点 设备技术领域 设备静电 设备运行 运行状况 监测 防护 维修 | ||
【主权项】：
1.一种ESD设备运行状况监测装置，其特征在于，包括检测单元；所述检测单元，用于根据ESD设备的电容器（1）充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常。
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