[发明专利]一种ESD设备运行状况监测装置及其监测方法在审
| 申请号: | 201810957085.0 | 申请日: | 2018-08-22 |
| 公开(公告)号: | CN109188126A | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
| 发明(设计)人: | 徐仲亮;王业文;栗巍 | 申请(专利权)人: | 深圳市矽电半导体设备有限公司 |
| 主分类号: | G01R31/00 | 分类号: | G01R31/00;G01R19/25 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 设备运行状况 监测装置 电容器充放电 判定规则 预设 检测 判定 技术方案要点 设备技术领域 设备静电 设备运行 运行状况 监测 防护 维修 | ||
1.一种ESD设备运行状况监测装置,其特征在于,包括检测单元;
所述检测单元,用于根据ESD设备的电容器(1)充放电过程中的电压,采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常。
2.根据权利要求1所述的一种ESD设备运行状况监测装置,其特征在于,所述检测单元包括比较器(2);
所述比较器(2),用于将所述电容器(1)充放电过程中的电压与预设值进行比较,并输出相应的控制信号,以反映ESD设备的运行是否正常。
3.根据权利要求2所述的一种ESD设备运行状况监测装置,其特征在于,还包括运算放大单元(7);
所述电容器(1)的高压端通过所述运算放大单元(7)与所述比较器(2)的反相输入端连接,所述比较器(2)的同相输入端用于接收与所述预设值相对应的信号。
4.根据权利要求3所述的一种ESD设备运行状况监测装置,其特征在于,所述运算放大单元(7)包括第一运算放大器(71)和第二运算放大器(72);
所述电容器(1)的高压端经过电阻分压与第一运算放大器(71)的同相输入端连接;
所述第一运算放大器(71)的输出端与第一运算放大器(71)的反相输入端连接,所述第一运算放大器(71)的输出端还与第二运算放大器(72)的同相输入端连接,所述第二运算放大器(72)的同相输入端接地,所述第二运算放大器(72)的输出端通过第三电阻与第二运算放大器(72)的反相输入端连接,所述第二运算放大器(72)的输出端与所述比较器(2)的反相输入端连接。
5.根据权利要求4所述的一种ESD设备运行状况监测装置,其特征在于,所述ESD设备运行状况监测装置还包括分压电阻器(8)以及用于对ESD设备的电源(9)的输出电压进行放大的电压放大器(10);
所述分压电阻器(8)的分压比例与电压放大器(10)的放大比例呈倒数关系;
所述电容器(1)的高压端通过分压电阻器(8)与第一运算放大器(71)的同相输入端连接。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的一种ESD设备运行状况监测装置,其特征在于,还包括警示单元(11);
所述警示单元(11),用于接收所述控制信号,并根据所述控制信号,执行相应反映ESD设备运行是否正常的警示响应。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的一种ESD设备运行状况监测装置,其特征在于,所述检测单元还包括存储器(3)和处理器(6);
所述存储器(3),用于存储电容器(1)充放电过程中的状态电压;
所述处理器(6),用于根据存储器(3)内电容器(1)充放电过程中的电压,采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常,并生成相应的控制信号,以反映ESD设备的运行是否正常。
8.一种ESD设备运行状况监测方法,其特征在于,包括:
根据ESD设备的电容器(1)充放电过程中的电压,采用预设的判断规则判断ESD设备的运行是否正常。
9.根据权利要求8所述的一种ESD设备运行状况监测方法,其特征在于,
采用比较器(2)将电容器(1)充放电过程中的电压与预设值进行比较,并输出相应的控制信号,以反映ESD设备的运行是否正常。
10.根据权利要求8或9所述的一种ESD设备运行状况监测方法,其特征在于,
使用存储器(3)存储电容器(1)充放电过程中的电压;
使用处理器(6)对存储器(3)内存储的电容器(1)充放电过程中的电压进行处理,处理器(6)根据存储器(3)内电容器(1)充放电过程中的电压,采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常。
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