[发明专利]一种ESD设备运行状况监测装置及其监测方法

说明书

本发明涉及ESD设备技术领域，更具体地说，它涉及一种ESD设备运行状况监测装置及其监测方法，其技术方案要点是：一种ESD设备运行状况监测装置，其包括检测单元；所述检测单元用于根据ESD设备的电容器充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常。根据本发明提供的技术方案,由于检测单元可以根据ESD设备的电容器充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常，从而作业人员在ESD设备工作时可以随时了解ESD设备的运行状况，当ESD设备运行不正常时，可以及时对ESD设备进行维修或更换，可有效防止ESD设备静电防护失效的情况发生。

技术领域

本发明涉及ESD设备技术领域，特别涉及一种ESD设备运行状况监测装置及其监测方法。

背景技术

ESD（Electro-Static discharge）的意思是“静电释放”。ESD是20世纪中期以来形成的以研究静电的产生、危害及静电防护等的学科。ESD设备是指能够提供模拟静电破坏的设备。现有的ESD设备在工作时作业人员无法判断ESD设备的工作状态是否正常，从而ESD设备发生损坏时作业人员无法及时得知，导致ESD设备失效。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明提供一种ESD设备运行状况监测装置及其监测方法，主要目的在于解决现有的ESD设备在工作时作业人员无法判断ESD设备的工作状态是否正常，使得ESD设备发生损坏时作业人员无法及时得知导致ESD设备故障的技术问题。

本发明的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的。

一方面，本发明的实施例提供一种ESD设备运行状况监测装置，包括检测单元；

所述检测单元，用于根据ESD设备的电容器充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常。

通过采用上述技术方案，由于检测单元可以根据ESD设备的电容器充放电过程中的电压，采用预设的判定规则判定ESD设备的运行是否正常，从而作业人员在ESD设备工作时可以随时了解ESD设备的运行状况，当ESD设备运行不正常时，可以及时对ESD设备进行维修或更换，可有效防止ESD设备静电防护失效的情况发生。

本发明进一步设置为：所述检测单元包括比较器；

所述比较器，用于将所述电容器充放电过程中的电压与预设值进行比较，并输出相应的控制信号，以反映ESD设备的运行是否正常。

通过采用上述技术方案，在硬件上实现了检测ESD设备运行是否正常的目的，其结构相对较简单，实施起来较方便。

本发明进一步设置为：所述ESD设备运行状况监测装置还包括运算放大单元；

所述电容器的高压端通过所述运算放大单元与所述比较器的反相输入端连接，所述比较器的同相输入端用于接收与所述预设值相对应的信号。

通过采用上述技术方案，运算放大单元可以对电容器输出的电压信号进行增强和调整，以满足实际工况下电容器输出的电压信号能够在比较器内进行比较运算。

本发明进一步设置为：所述运算放大单元包括第一运算放大器和第二运算放大器；

所述电容器的高压端与第一运算放大器的同相输入端连接，所述第一运算放大器的同相输入端还与0伏电平连接；

所述第一运算放大器的输出端与第一运算放大器的反相输入端连接，所述第一运算放大器的输出端还与第二运算放大器的同相输入端连接，所述第二运算放大器的同相输入端接地，所述第二运算放大器的输出端通过第三电阻与第二运算放大器的反相输入端连接，所述第二运算放大器的输出端与所述比较器的反相输入端连接。