[发明专利]一种半导体搬运设备的抓取装置

摘要

本发明公开了一种半导体搬运设备的抓取装置，包括支撑柱，所述支撑柱的上端外表面固定安装有底座，且底座的上方设置有转盘，所述转盘的上端外表面固定安装有接触柱与固定板，且转盘位于固定板的一侧，所述转盘的前端外表面固定安装有支撑板，所述固定板的外表面设置有伸缩机构，伸缩机构包括位于固定板两侧外表面靠近前端处活动安装的活动臂。本发明通过设置有一系列的结构使本装置在使用过程中，首先能够保证基板表面完好，避免其影响后续的工艺处理，其次能够便于使用者根据放置半导体基板箱子的深度调节伸缩机构的长度，另外能够避免其旋转角度过大发生将基板放错位置的情况，增加其放置基板位置的准确性。

主权项

1.一种半导体搬运设备的抓取装置，包括支撑柱（1），其特征在于：所述支撑柱（1）的上端外表面固定安装有底座（2），且底座（2）的上方设置有转盘（3），所述转盘（3）的上端外表面固定安装有接触柱（4）与固定板（5），且转盘（3）位于固定板（5）的一侧，所述转盘（3）的前端外表面固定安装有支撑板（6），所述固定板（5）的外表面设置有伸缩机构；伸缩机构包括位于固定板（5）两侧外表面靠近前端处活动安装的活动臂（7），两个所述活动臂（7）之间活动安装有转轴（8），所述转轴（8）的前端外表面固定安装有固定杆（18），且固定杆（18）的外表面靠近前端处活动安装有连接块（19），所述连接块（19）的前端外表面靠近中间处固定安装有抓取臂（9），且抓取臂（9）的前端外表面设置有抓取机构；抓取机构包括位于抓取臂（9）前端外表面固定安装的固定块（10），所述固定块（10）的外表面靠近中间的位置活动安装有轴承（11），且固定块（10）的前端外表面靠近两侧处均固定安装有伸缩杆（14），所述伸缩杆（14）的前端外表面固定安装有机械手（13），两个所述机械手（13）之间设置有弹簧（15）与固定轴（12），且固定轴（12）位于弹簧（15）的上方。