[发明专利]一种半导体搬运设备的抓取装置

权利要求书

1.一种半导体搬运设备的抓取装置，包括支撑柱（1），其特征在于：所述支撑柱（1）的上端外表面固定安装有底座（2），且底座（2）的上方设置有转盘（3），所述转盘（3）的上端外表面固定安装有接触柱（4）与固定板（5），且转盘（3）位于固定板（5）的一侧，所述转盘（3）的前端外表面固定安装有支撑板（6），所述固定板（5）的外表面设置有伸缩机构；

伸缩机构包括位于固定板（5）两侧外表面靠近前端处活动安装的活动臂（7），两个所述活动臂（7）之间活动安装有转轴（8），所述转轴（8）的前端外表面固定安装有固定杆（18），且固定杆（18）的外表面靠近前端处活动安装有连接块（19），所述连接块（19）的前端外表面靠近中间处固定安装有抓取臂（9），且抓取臂（9）的前端外表面设置有抓取机构；

抓取机构包括位于抓取臂（9）前端外表面固定安装的固定块（10），所述固定块（10）的外表面靠近中间的位置活动安装有轴承（11），且固定块（10）的前端外表面靠近两侧处均固定安装有伸缩杆（14），所述伸缩杆（14）的前端外表面固定安装有机械手（13），两个所述机械手（13）之间设置有弹簧（15）与固定轴（12），且固定轴（12）位于弹簧（15）的上方。

2.根据权利要求1所述的一种半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述转盘（3）的下端外表面开设有限位槽（20），所述底座（2）的上端外表面靠近中间处固定安装有限位块（21）。

3.根据权利要求2所述的一种半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述限位块（21）的一侧外表面靠近下端处与限位槽（20）的下端外表面靠近上端处均固定安装有挡板（22）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：两个所述挡板（22）的高度和大于限位块（21）的高度，所述限位槽（20）与限位块（21）之间的旋转角度为二百七十度。

5.根据权利要求1所述的一种半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述固定轴（12）与机械手（13）之间的连接方式为活动连接，且机械手（13）与弹簧（15）之间的连接方式为固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述连接块（19）与固定杆（18）的数量均至少为两个，且其呈一字形活动安装。

7.根据权利要求1所述的一种半导体搬运设备的抓取装置，其特征在于：所述连接块（19）与固定杆（18）之间的连接方式为活动连接，且连接块（19）与抓取臂（9）之间的连接方式为固定连接。