[发明专利]一种高质量多晶硅料处理方法在审

专利信息
申请号: 201810868734.X 申请日: 2018-08-02
公开(公告)号: CN108910891A 公开(公告)日: 2018-11-30
发明(设计)人: 姚翠云;路景刚;黄振华 申请(专利权)人: 镇江环太硅科技有限公司
主分类号: C01B33/037 分类号: C01B33/037
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 任立
地址: 212200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种高质量多晶硅料处理方法,具体包括以下步骤:(1)将多晶硅料放置碱槽中;(2)向碱槽中加入氢氧化钠与水,进行碱泡;(3)将经步骤(2)碱泡处理后的多晶硅料放置碱锅中采用高纯度氢氧化钠进行碱煮;(4)步骤(3)碱煮后的多晶硅料依次进行如下操作:采用氢氟酸及硝酸进行中和,漂洗,烘干,包装得到高质量多晶硅料;本发明该方法简单易行,有效去除硅料表面杂质及嵌入在硅料中的杂质,提高硅料质量,同时提高经济效益,变废为宝。
搜索关键词: 多晶硅料 硅料 氢氧化钠 碱槽 碱泡 碱煮 表面杂质 漂洗 硝酸 高纯度 氢氟酸 烘干 碱锅 去除 嵌入 中和
【主权项】:
1.一种高质量多晶硅料处理方法,其特征在于,具体包括以下步骤:(1)将多晶硅料放置碱槽中;(2)向碱槽中加入氢氧化钠与水,进行碱泡;(3)将经步骤(2)碱泡处理后的多晶硅料放置碱锅中采用99%浓度氢氧化钠进行碱煮;(4)步骤(3)碱煮后的多晶硅料依次进行如下操作:采用氢氟酸及硝酸进行中和,漂洗,烘干,包装得到高质量多晶硅料。
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