[发明专利]一种高质量多晶硅料处理方法在审
| 申请号： | 201810868734.X | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN108910891A | 公开（公告）日： | 2018-11-30 |
| 发明（设计）人： | 姚翠云;路景刚;黄振华 | 申请（专利权）人： | 镇江环太硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人： | 任立 |
| 地址： | 212200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多晶硅料 硅料 氢氧化钠 碱槽 碱泡 碱煮 表面杂质 漂洗 硝酸 高纯度 氢氟酸 烘干 碱锅 去除 嵌入 中和 | ||
1.一种高质量多晶硅料处理方法，其特征在于，具体包括以下步骤：
（1）将多晶硅料放置碱槽中；
（2）向碱槽中加入氢氧化钠与水，进行碱泡；
（3）将经步骤（2）碱泡处理后的多晶硅料放置碱锅中采用99%浓度氢氧化钠进行碱煮；
（4）步骤（3）碱煮后的多晶硅料依次进行如下操作：采用氢氟酸及硝酸进行中和，漂洗，烘干，包装得到高质量多晶硅料。
2.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：步骤（1）中所述的多晶硅料为多晶工序中产生的表面凹凸不平，杂质附着严重的循环多晶硅料，以及在破碎或再次处理过程中产生细小、形状不规则的多晶硅料。
3.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：步骤（2）中所述氢氧化钠的浓度为3-15%。
4.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：步骤（2）中硅料与氢氧化钠反应，反应诱导温度控制在30-50度。
5.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：步骤（2）中碱泡时间为6-8h。
6.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：步骤（2）碱泡时，根据自然界温度变化，在冬天的环境下开启加热装置加速反应。
7.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：经步骤（2）碱泡后多晶硅料表面腐蚀深度为1微微米。
8.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：步骤（3）进行碱煮时控制时间为3-4min。
9.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：步骤（3）碱煮后多晶硅料表面腐蚀深度为2.5微微米。
10.根据权利要求1所述的高质量多晶硅料处理方法，其特征在于：步骤（4）中和时采用的氢氟酸及硝酸按体积比计氢氟酸：硝酸=1：5。
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