[发明专利]一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备有效
| 申请号： | 201810867445.8 | 申请日： | 2018-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN108816029B | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 栗广奉;郑安雄;闫静伟;范金立 | 申请（专利权）人： | 浙江中宁硅业有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78;B01D53/70 |
| 代理公司： | 浙江维创盈嘉专利代理有限公司 33477 | 代理人： | 郑嘉 |
| 地址： | 324000 浙江省衢州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备，其主要是通过将四氟化硅生产过程中产生的废气与无水HF酸槽车卸车时产生含有HF气体的废气进行整合反应，使其生产出所需要的氟硅酸；本发明的有益效果：不仅避免四氟化硅废气与HF废气污染环境，还能够将资源整合利用，从而提高资源的利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 浓度 hf 酸处理 氟化 气体 方法 及其 处理 设备 | ||
【主权项】：
1.一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将氢氟酸卸车废气通入至一级水洗塔内，并且将经过水洗后产生的氟化氢气体通入至二级水洗塔内；(2)将四氟化硅制备过程中的四氟化硅废气收集，并且通入至步骤(1)中的二级水洗塔内；(3)在二级水洗塔内的四氟化硅废气与氟化氢气体经过水洗后进行反应后生成氟硅酸液体以及尾气，反应生成的氟硅酸液体统一收集至二级水洗循环槽内；(4)将步骤(3)中的尾气通入至碱洗塔内进行碱洗并且将碱洗后的尾气通过废气去尾气风机进行排放。
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