[发明专利]一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备

说明书

本发明涉及一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备，其主要是通过将四氟化硅生产过程中产生的废气与无水HF酸槽车卸车时产生含有HF气体的废气进行整合反应，使其生产出所需要的氟硅酸；本发明的有益效果：不仅避免四氟化硅废气与HF废气污染环境，还能够将资源整合利用，从而提高资源的利用率。

技术领域

本发明涉及化工废气处理技术领域，特别涉及一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备。

背景技术

四氟化硅，是指一种无色、有毒有刺激性的气味，其主要用于水泥和人造大理石的硬化剂以及有机硅化合物的合成材料。

氟化氢，是指一种无色有刺激性气味且有毒的气体。

目前，在制备四氟化硅的过程中会存在一定量的四氟化硅废气，并且将四氟化硅废气直接排放在空气中；而在无水氢氟酸槽车卸车时会排出一定量的无水氢氟酸，现有技术中，主要是将该部分的无水氢氟酸进行循环洗气后并将其通过引风机排放。

综上所述，目前在制备四氟化硅产生的四氟化硅废气以及无水氢氟酸槽车卸车时排出的无水氢氟酸无法得到充分的利用，存在着资源浪费的缺点，故有必要提供一种有效的处理方法来处理上述问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备，旨在解决上述背景技术中无法将无水氢氟酸和四氟化硅气体有效利用的问题。

本发明的技术方案是这样实现的：一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将氢氟酸卸车废气通入至一级水洗塔内，并且将经过水洗后产生的氟化氢气体通入至二级水洗塔内；

(2)将四氟化硅制备过程中的四氟化硅废气收集，并且通入至步骤(1)中的二级水洗塔内；

(3)在二级水洗塔内的四氟化硅废气与氟化氢气体经过水洗后进行反应后生成氟硅酸液体以及尾气，反应生成的氟硅酸液体统一收集至二级水洗循环槽内；

(4)将步骤(3)中的尾气通入至碱洗塔内进行碱洗并且将碱洗后的尾气通过废气去尾气风机进行排放。

优选为：步骤(3)中二级水洗循环槽内的氟硅酸液体通过二级水洗循环泵进行输送转移，转移的氟硅酸液体部分进入二级水洗塔内参与水洗，另一部分氟硅酸液体通过二级水洗循环泵送入至氟硅酸罐装区进行罐装；当二级水洗循环槽内的水洗液消耗完毕后，通过一级水洗循环槽对其进行补充。

优选为：步骤(1)中的一级水洗塔的水洗液通过一级水洗循环槽供给，并且参与水洗后的水洗液重新流回至一级水洗循环槽内。

优选为：所述一级水洗循环槽内的水洗液为浓度在30％～50％区间内的氢氟酸；所述二级水洗循环槽内的水洗液为浓度在20％～30％区间内的氢氟酸。