[发明专利]一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法及其处理设备

权利要求书

1.一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将氢氟酸卸车废气通入至一级水洗塔内，并且将经过水洗后产生的氟化氢气体通入至二级水洗塔内；

(2)将四氟化硅制备过程中的四氟化硅废气收集，并且通入至步骤(1)中的二级水洗塔内；

(3)在二级水洗塔内的四氟化硅废气与氟化氢气体经过水洗后进行反应后生成氟硅酸液体以及尾气，反应生成的氟硅酸液体统一收集至二级水洗循环槽内；

(4)将步骤(3)中的尾气通入至碱洗塔内进行碱洗并且将碱洗后的尾气通过废气去尾气风机进行排放。

2.根据权利要求1所述的一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法，其特征在于：步骤(3)中二级水洗循环槽内的氟硅酸液体通过二级水洗循环泵进行输送转移，转移的氟硅酸液体部分进入二级水洗塔内参与水洗，另一部分氟硅酸液体通过二级水洗循环泵送入至氟硅酸罐装区进行罐装；当二级水洗循环槽内的水洗液消耗完毕后，通过一级水洗循环槽对其进行补充。

3.根据权利要求1或2所述的一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法，其特征在于：步骤(1)中的一级水洗塔的水洗液通过一级水洗循环槽供给，并且参与水洗后的水洗液重新流回至一级水洗循环槽内。

4.根据权利要求3所述的一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的方法，其特征在于：所述一级水洗循环槽内的水洗液为浓度在30％～50％区间内的氢氟酸；所述二级水洗循环槽内的水洗液为浓度在20％～30％区间内的氢氟酸。

5.如上述权利要求所述的一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的处理设备，其特征在于：包括依次串联的一级水洗塔、二级水洗塔、碱洗塔和去尾气风机；所述一级水洗塔、二级水洗塔和碱洗塔分别还并联有一级水洗循环槽、二级水洗循环槽和碱洗循环槽，所述一级水洗循环槽、二级水洗循环槽和碱洗循环槽内部的水洗液分别通过一级水洗循环泵、二级水洗循环泵和碱洗循环泵分别送入至一级水洗塔、二级水洗塔和碱洗塔内；所述一级水洗塔和二级水洗塔分别还连通有第一进气管和第二进气管；所述一级水洗循环槽和二级水洗循环槽均连通有进水管；所述二级水洗循环泵通过分流装置连通有分流管；所述一级水洗循环槽和二级水洗循环槽之间连通有补足管。

6.根据权利要求5所述的一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的处理设备，其特征在于：所述分流装置包括由第一分流体和第二分流体构成的横截面为“T”形的分流主体；所述第一分流体和第二分流体均中空设置且两者相互连通；所述第一分流体的底部周向间隔设有第一出液口和第二出液口，第二分流体的底部设有进液口；所述第一分流体的顶部设有环形开口且在该环形开口内滑动连接有与环形开口相适配的滑动块，所述第一分流体的顶部通过支架固定连接有与第一分流体间隔设置的支撑台，所述支撑台的顶部固定安装有液压缸，支撑台的底部固定安装有电机；所述第一分流体内设有通过电机驱动转动的传动组件，所述第一分流体内设有通过液压缸驱动升降的受动组件；当液压缸驱动受动组件与传动组件啮合时，受动组件进行自转并且将从进液口中进入的物料分别甩向第一出液口或者第二出液口。

7.根据权利要求6所述的一种利用低浓度HF酸处理四氟化硅气体的处理设备，其特征在于：所述传动组件包括位于第一分流体内且通过传动轴与电机固定连接的传动盘，所述传动盘的侧壁上周向等距间隔固定连接有多卡接齿，所述传动盘的底部端面自该端面的中心至该端面的边缘之间固定连接有多根卡接条，相邻的卡接条等距间隔设置且相邻的卡接条之间形成有传动分区，在各传动分区上径向间隔设有与两侧卡接条相接触的凹腔且在各凹腔内均设有与两侧卡接条固定连接的减震弹簧。