[发明专利]薄膜晶体管、显示基板及其制作方法、显示装置有效
| 申请号： | 201810846256.2 | 申请日： | 2018-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN109037346B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 胡迎宾;赵策;丁远奎;李伟;宋威;丁录科;刘军;闫梁臣 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L27/32 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 刘伟;张博 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜晶体管、显示基板及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域。薄膜晶体管包括：导电的遮光层；位于所述遮光层上的金属氧化物层；依次位于所述金属氧化物层上的缓冲层、有源层、栅绝缘层、栅电极和层间绝缘层，所述层间绝缘层和所述缓冲层包括有暴露出所述有源层的第一过孔和第二过孔、暴露出所述金属氧化物层的第三过孔，其中，所述金属氧化物层对应所述第三过孔的部分为导电部分，其他部分为绝缘的；位于所述层间绝缘层上的源电极和漏电极，所述源电极通过所述第一过孔与所述有源层连接，所述漏电极通过所述第二过孔与所述有源层连接，还通过所述第三过孔与所述导电部分连接。本发明能够提高显示基板的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：导电的遮光层；位于所述遮光层上的金属氧化物层；依次位于所述金属氧化物层上的缓冲层、有源层、栅绝缘层、栅电极和层间绝缘层，所述层间绝缘层和所述缓冲层包括有暴露出所述有源层的第一过孔和第二过孔、暴露出所述金属氧化物层的第三过孔，其中，所述金属氧化物层对应所述第三过孔的部分为导电部分，其他部分为绝缘的；位于所述层间绝缘层上的源电极和漏电极，所述源电极通过所述第一过孔与所述有源层连接，所述漏电极通过所述第二过孔与所述有源层连接，还通过所述第三过孔与所述导电部分连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810846256.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
