[发明专利]一种对OLED制造设备进行表面处理的方法在审

专利信息
申请号: 201810813656.3 申请日: 2018-07-23
公开(公告)号: CN108546969A 公开(公告)日: 2018-09-18
发明(设计)人: 郭建利 申请(专利权)人: 北京蜃景光电科技有限公司
主分类号: C25D9/02 分类号: C25D9/02;C25D5/34;C23C14/24
代理公司: 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 代理人: 齐云
地址: 100000 北京市海淀区中*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,该方法包括对金属表面进行预处理;采用刻蚀液对经预处理的金属表面进行刻蚀;采用三嗪系化合物作为电镀液对经刻蚀的金属表面进行电镀;其中,所述三嗪化合物为C3N3S2HK—SH或C3N3S2HK—N(C6H13)2。本发明采用该方法对OLED制造设备的处理能够增加OLED制造设备的工艺使用周期,降低蒸镀材料包裹制造设备后,产生脱落与崩裂的概率,减少颗粒的干扰和污染。
搜索关键词: 制造设备 金属表面 预处理 刻蚀 三嗪系化合物 三嗪化合物 崩裂 使用周期 蒸镀材料 电镀液 刻蚀液 电镀 概率 污染
【主权项】:
1.一种对OLED制造设备进行表面处理的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、对金属表面进行预处理;步骤二、采用刻蚀液对经预处理的金属表面进行刻蚀;步骤三、采用三嗪系化合物作为电镀液对经刻蚀的金属表面进行电镀;其中,所述三嗪化合物为C3N3S2HK—SH或C3N3S2HK—N(C6H13)2;优选地,所述C3N3S2HK—SH为其同分异构体中的任意一种;所述C3N3S2HK—N(C6H13)2为其同分异构体中的任意一种。
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