[发明专利]一种对OLED制造设备进行表面处理的方法

说明书

本发明涉及一种对OLED制造设备进行表面处理的方法，该方法包括对金属表面进行预处理；采用刻蚀液对经预处理的金属表面进行刻蚀；采用三嗪系化合物作为电镀液对经刻蚀的金属表面进行电镀；其中，所述三嗪化合物为C₃N₃S₂HK—SH或C₃N₃S₂HK—N(C₆H₁₃)₂。本发明采用该方法对OLED制造设备的处理能够增加OLED制造设备的工艺使用周期，降低蒸镀材料包裹制造设备后，产生脱落与崩裂的概率，减少颗粒的干扰和污染。

技术领域

本发明涉及OLED制造设备技术领域，具体而言，涉及一种对OLED制造设备进行表面处理的方法。

背景技术

表面处理是在基体材料表面上人工形成一层与基体的机械、物理和化学性能不同的表层的工艺方法。表面处理的目的是满足产品的耐蚀性、耐磨性、装饰或其他特种功能要求。

目前，有机蒸镀技术是制造OLED器件的核心技术，不论是照明器件还是显示器件有机蒸镀都是目前最可行的成膜技术。

然而，有机蒸镀需要在真空腔室环境中进行，真空腔室本身和腔室内部有诸多不锈钢材料制成的组件，腔室内表面和组件表面会与蒸镀材料蒸汽接触，并会不可避免的不断吸附上蒸镀材料，形成包裹层。包裹层经过一定的工艺时间就会产生脱落与崩裂，对镀膜腔室环境造成干扰和污染。

三嗪为含3个氮原子的六元杂环化合物，三嗪结构符合休克尔规则所规定的4n+2规则，拥有6个离域电子；三个N原子采用与三个C一样的的sp2杂化，所有原子均处于同一个平面，拥有传统意义上的芳香性。

目前，三嗪可用作除草剂、药物、抑制剂、杀虫剂、生物燃料、阻燃剂等领域。

例如，申请号为201410067165.0的中国专利申请公开了一种金属的表面处理剂，其中，采用三嗪系化合物作为抑制剂使用，其处理方式为将金属浸泡在表面处理剂中，处理后所达到的效果是提高金属表面的耐腐蚀性，加热处理后变色防止效果高，金属线焊接特性优异，不会造成反射率的劣化。该发明并不能实现对金属表面吸附性能的改变。

有鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本发明的目的在于提供一种对OLED制造设备进行表面处理的方法，该方法能够改善OLED制造设备对有机蒸镀材料吸附或抗吸附的性能，以及对水和氧气的抗吸附性能；通过对OLED制造设备的处理能够增加OLED制造设备的使用时间，避免蒸镀材料包裹制造设备后，产生脱落与崩裂，对蒸镀造成干扰和污染。

为了实现本发明的上述目的，特采用以下技术方案：

一种对OLED制造设备进行表面处理的方法，包括如下步骤：

步骤一、对金属表面进行预处理；

步骤二、采用刻蚀液对经预处理的金属表面进行刻蚀；

步骤三、采用三嗪系化合物作为电镀液对经刻蚀的金属表面进行电镀；其中，所述三嗪化合物为C₃N₃S₂HK—SH或C₃N₃S₂HK—N(C₆H₁₃)₂。