[发明专利]一种硅片承载装置

摘要

本申请公开了一种硅片承载装置，涉及硅片加工制造领域，包括一放置架，该放置架具有：一前挡板，该前挡板外侧设置有一把手；一后挡板，该后挡板与前挡板相对设置；一底板，该底板设置在前挡板和后挡板之间，底板一端与前挡板连接，另一端与后档板连接；立柱，该立柱的数量大于等于二，立柱分为两排相对地固定在底板上，且具有：凹槽，该凹槽竖直设置在立柱内侧，凹槽内侧壁上设置有：顶块一，该顶块一由弹性体材料制成。本申请通过在凹槽之中设置顶块，解决了现有技术中硅片放置架不稳定的问题。

主权项

1.一种硅片承载装置，包括一放置架，所述放置架具有：一前挡板，所述前挡板外侧设置有一把手；一后挡板，所述后挡板与所述前挡板相对设置；一底板，所述底板设置在所述前挡板和所述后挡板之间，所述底板一端与所述前挡板连接，另一端与所述后档板连接；立柱，所述立柱的数量大于等于二，所述立柱分为两排相对地固定在所述底板上，且具有：凹槽，所述凹槽竖直设置在所述立柱内侧，所述凹槽内侧壁上设置有：顶块一，所述顶块一由弹性体材料制成。