[发明专利]一种硅片承载装置

权利要求书

1. 一种硅片承载装置，包括一放置架，所述放置架具有：一前挡板，所述前挡板外侧设置有一把手；一后挡板，所述后挡板与所述前挡板相对设置；一底板，所述底板设置在所述前挡板和所述后挡板之间，所述底板一端与所述前挡板连接，另一端与所述后挡板连接；立柱，所述立柱的数量大于等于二，所述立柱分为两排相对地固定在所述底板上，且具有：凹槽，所述凹槽竖直设置在所述立柱内侧，所述凹槽内侧壁上设置有：顶块一，所述顶块一由弹性体材料制成；

所述立柱上端设置有横杆，所述横杆一端与所述前挡板连接，另一端与所述后挡板连接；

所述横杆内侧设置有缺口，所述缺口与所述凹槽一一对应；

所述横杆上设置有卡扣，所述卡扣通过铰接件与所述横杆连接，所述铰接件与所述横杆同向设置；

所述卡扣内侧壁上设置有顶块二、水流孔二和水流槽二。

2.根据权利要求1所述的一种硅片承载装置，其中，所述立柱底部具有底座，所述凹槽从所述立柱的顶端延伸至所述底座，所述凹槽在所述底座处为弧形。

3.根据权利要求1所述的一种硅片承载装置，其中，所述凹槽内侧底部设置有水流孔一。

4.根据权利要求1所述的一种硅片承载装置，其中，所述凹槽内侧底部还设置有水流槽一，所述水流槽一设置在所述水流孔一之间。

5.根据权利要求1所述的一种硅片承载装置，其中，所述硅片承载装置还包括一箱体，所述箱体一端具有开口，另一端安装有万向轮。

6.根据权利要求5所述的一种硅片承载装置，其中，所述箱体上设置有通风口，所述通风口上设置有过滤网。