[发明专利]半导体装置封装件和制造半导体装置封装件的方法在审
| 申请号: | 201810794523.6 | 申请日: | 2018-07-19 |
| 公开(公告)号: | CN110534497A | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
| 发明(设计)人: | 吕文隆 | 申请(专利权)人: | 日月光半导体制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L23/31 |
| 代理公司: | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 蕭輔寬<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址: | 中国台湾高雄市楠梓*** | 国省代码: | 中国台湾;TW |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 一种半导体衬底包含介电层、第一导电层、第一阻挡层和导电柱。所述介电层具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面。所述第一导电层邻近于所述介电层的所述第一表面安置。所述第一阻挡层安置于所述第一导电层上。所述导电柱安置于所述第一阻挡层上。所述导电柱的宽度等于或小于所述第一阻挡层的宽度。 | ||
| 搜索关键词: | 阻挡层 第一导电层 第一表面 导电柱 介电层 安置 第二表面 衬底 半导体 邻近 | ||
【主权项】:
1.一种半导体衬底,包括:/n介电层,具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面;/n第一导电层,邻近于所述介电层的所述第一表面安置;/n第一阻挡层,安置于所述第一导电层上;和/n导电柱,安置于所述第一阻挡层上,/n其中所述导电柱的宽度等于或小于所述第一阻挡层的宽度。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于日月光半导体制造股份有限公司,未经日月光半导体制造股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810794523.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种GaN基射频器件及其封装方法
- 下一篇:封装的半导体器件





