[发明专利]半导体装置封装件和制造半导体装置封装件的方法在审

专利信息
申请号: 201810794523.6 申请日: 2018-07-19
公开(公告)号: CN110534497A 公开(公告)日: 2019-12-03
发明(设计)人: 吕文隆 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L23/498 分类号: H01L23/498;H01L23/31
代理公司: 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 代理人: 蕭輔寬<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 中国台湾高雄市楠梓*** 国省代码: 中国台湾;TW
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摘要: 一种半导体衬底包含介电层、第一导电层、第一阻挡层和导电柱。所述介电层具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面。所述第一导电层邻近于所述介电层的所述第一表面安置。所述第一阻挡层安置于所述第一导电层上。所述导电柱安置于所述第一阻挡层上。所述导电柱的宽度等于或小于所述第一阻挡层的宽度。
搜索关键词: 阻挡层 第一导电层 第一表面 导电柱 介电层 安置 第二表面 衬底 半导体 邻近
【主权项】:
1.一种半导体衬底,包括:/n介电层,具有第一表面和与所述第一表面相对的第二表面;/n第一导电层,邻近于所述介电层的所述第一表面安置;/n第一阻挡层,安置于所述第一导电层上;和/n导电柱,安置于所述第一阻挡层上,/n其中所述导电柱的宽度等于或小于所述第一阻挡层的宽度。/n
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