[发明专利]被处理体的处理装置和处理装置的检查方法

摘要

本发明检测制冷剂的泄漏。本发明一技术方案的处理装置包括：用于提供腔室的腔室主体；载置台，其支承载置于该载置台上的被处理体，在该载置台内部形成有制冷剂用的第一流路和与该第一流路连通的空间；第一配管，其具有第一端部和第二端部，第一端部被插入空间与第一流路连接，第二端部与制冷剂供给机构连接；和第一密封部件，其设置于第一端部与规定空间之边界的壁面之间的间隙，将该间隙密封。载置台内形成有具有一端和另一端的第二流路，第二流路的该一端与间隙连接，第一密封部件在第二流路的第一流路一侧与壁面接触。该处理装置还包括与第二流路的另一端连接的第二配管和与第二配管连接的检测装置。

主权项

1.一种被处理体的处理装置，其特征在于，包括：用于提供腔室的腔室主体；载置台，其设置在所述腔室内，能够支承载置于该载置台上的所述被处理体，在该载置台内部形成有制冷剂用的第一流路和与该第一流路连通的空间；第一配管，其具有第一端部和第二端部，所述第一端部被插入所述空间并与所述第一流路连接，所述第二端部与制冷剂供给机构连接；和第一密封部件，其设置于所述第一端部与规定所述空间之边界的壁面之间的间隙，将该所述间隙密封，所述载置台内形成有具有一端和另一端的第二流路，所述第二流路的该一端与所述间隙连接，所述第一密封部件在所述第二流路的所述第一流路一侧与所述壁面接触，所述处理装置还包括：与所述第二流路的所述另一端连接的第二配管；和检测装置，其与所述第二配管连接，对所述第二配管中流动的所述制冷剂的量进行检测。