[发明专利]探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置有效
| 申请号： | 201810792574.5 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110736860B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 李茂衫;吴松霖;吴振文 | 申请（专利权）人： | 均豪精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R35/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨;李林 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其步骤包含有：更换一探针卡；提供一标准片，标准片设有复数个测量位置与复数个电性垫；提供探针卡更换前，标准片的测量位置的位置参数；移动探针卡至一水平测量位置；撷取至少一水平位置影像，由一影像撷取单元撷取至少一次水平位置的水平位置影像，水平位置影像包括至少一电性垫与至少一针尖的影像；计算水平差异量；以及补正水平测量位置参数，控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针的水平测量位置。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 更换 机构 位置 补正 方法 及其 测量 装置 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡更换后机构位置的补正方法，其步骤包含有：/n更换一探针卡，该探针卡设有至少一探针，各探针具有一针尖；/n提供一标准片，该标准片设有复数个测量位置，每一测量位置设有复数个电性垫；/n提供复数个位置参数，提供该探针卡更换前，该标准片的该复数个测量位置的位置参数，各位置参数包含有一水平位置参数与一垂直位置参数；/n移动该探针卡至一水平测量位置，选择任一测量位置的位置参数，由一控制单元依该位置参数的水平位置参数控制该探针卡移动至该水平测量位置；/n撷取至少一水平位置影像，由一影像撷取单元撷取至少一次该水平位置的水平位置影像，该水平位置影像包括至少一电性垫与至少一针尖的影像；/n计算水平差异量，该控制单元计算该水平位置影像中的至少一针尖相对于至少一电性垫中心的水平差异量；以及/n补正水平测量位置参数，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针的水平测量位置。/n
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