[发明专利]探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置

权利要求书

1.一种探针卡更换后机构位置的补正方法，其步骤包含有：

更换一探针卡，该探针卡设有至少一探针，各探针具有一针尖；

提供一标准片，该标准片设有复数个测量位置，每一测量位置设有复数个电性垫；

提供复数个位置参数，提供该探针卡更换前，该标准片的该复数个测量位置的位置参数，各位置参数包含有一水平位置参数与一垂直位置参数；

移动该探针卡至一水平测量位置，选择任一测量位置的位置参数，由一控制单元依该位置参数的水平位置参数控制该探针卡移动至该水平测量位置；

撷取至少一水平位置影像，由一影像撷取单元撷取至少一次该水平位置的水平位置影像，该水平位置影像包括至少一电性垫与至少一针尖的影像；

计算水平差异量，该控制单元计算该水平位置影像中的至少一针尖相对于至少一电性垫中心的水平差异量；以及

补正水平测量位置参数，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针的水平测量位置，如此，在更换探针卡后，便无需再耗费人工针对不同产品进行探针卡水平位置参数校正。

2.根据权利要求1所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其特征在于：还包含有一计算垂直差异量的步骤，该控制单元控制该探针卡在垂直方向接近该电性垫，且在垂直移动过程中，该影像撷取单元对该电性垫与该针尖进行影像撷取，该影像传输给该控制单元，当该控制单元侦测该针尖于水平方向有相对位移时，判断该针尖已接触该电性垫，该控制单元计算此刻垂直位置相对于该垂直位置参数的差值而成为该垂直差异量。

3.根据权利要求2所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其特征在于：还包含有一补正垂直测量位置的步骤，该控制单元结合该垂直位置参数与该垂直差异量成为补正后的垂直位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的垂直位测量位置，如此，在更换探针卡后，便无需再耗费人工针对不同产品进行探针卡垂直位置参数校正。

4.根据权利要求2所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其特征在于：该探针卡的各探针分别对应各测量位置所设的该电性垫。

5.一种用于如权利要求1至4中任一项所述的探针卡更换后机构位置的补正方法的测量装置，其包含有：

一移动单元，其电性连接该控制单元，且受控于该控制单元而移载该探针卡；以及

一载台，其承置该标准片。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于：该移动单元包括有一龙门，该龙门跨设于该载台的两侧，该探针卡架设于该龙门，该控制单元控制该龙门相对于该载台移动。

7.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于：该移动单元包含有一探针座，该探针座设置于该龙门，该探针卡架设于该探针座，该控制单控制该探针座带动该探针卡相对于该载台移动。

8.根据权利要求6所述的测量装置，其特征在于：该影像撷取单元架设于该龙门，该控制单元控制该影像撷取单元相对于该探针卡移动。

9.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于：该影像撷取单元架设于该探针座。