[发明专利]探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置

说明书

本发明提供一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其步骤包含有：更换一探针卡；提供一标准片，标准片设有复数个测量位置与复数个电性垫；提供探针卡更换前，标准片的测量位置的位置参数；移动探针卡至一水平测量位置；撷取至少一水平位置影像，由一影像撷取单元撷取至少一次水平位置的水平位置影像，水平位置影像包括至少一电性垫与至少一针尖的影像；计算水平差异量；以及补正水平测量位置参数，控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针的水平测量位置。

技术领域

本发明涉及一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其系利用影像撷取单元所撷取的影像，控制单元由该影像计算出差异量，并结合位置参数，以补正探针的测量位置。

背景技术

现有的探针测量机台的探针卡需对应复数种的产品类别，而各产品电性测量的接触位置点都不同，因此各产品分别有其专属对应电性测量的位置参数。

当探针卡上的探针损伤，而进行整修装卸后，经装载后的探针卡的机构位置已有微量的偏移，而与原本拆卸前的机构位置不同。此时，需耗人力以手动校正的方式调整探针卡的机构位置，使探针的机构位置能再度对应至产品上电性测量的接触位置。但若探针卡所对应的产品超过一数量，则探针卡要进行校正调整的人力工时也随之而增加。

综合上述，现有的探针测量机台于更换探针卡后，需要针对各产品的类别进行电性测量制程中位置参数的调整，其系耗工费时。

发明内容

有鉴于此，本发明主要目的在于，提出一种探针卡更换后机构位置的补正方法及其测量装置，其系利用影像撷取单元所撷取的影像，而控制单元由该影像中得出水平差异量与垂直差异量，再结合水平位置参数与垂直位置参数，以补正探针的水平测量位置与垂直测量位置。以达到无须针对各产品的类别进行电性测量制程的位置参数调整，故能省工缩时。

为达上述目的，本发明所提出的一种探针卡更换后机构位置的补正方法，其步骤包含有：

更换一探针卡，该探针卡设有至少一探针，各探针具有一针尖；

提供一标准片，该标准片设有复数个测量位置，每一测量位置设有复数个电性垫；

提供复数个位置参数，提供该探针卡更换前，该标准片的该复数个测量位置的位置参数，各位置参数包含有一水平位置参数与一垂直位置参数；

移动该探针卡至一水平测量位置，选择任一测量位置的位置参数，由一控制单元依该位置参数的水平位置参数控制该探针卡移动至该水平测量位置；

撷取至少一水平位置影像，由一影像撷取单元撷取至少一次该水平位置的水平位置影像，该水平位置影像包括至少一电性垫与至少一针尖的影像；

计算水平差异量，该控制单元计算该水平位置影像中的至少一针尖相对于至少一电性垫中心的水平差异量；以及

补正水平测量位置参数，该控制单元结合该水平位置参数与该水平差异量成为补正后的水平位置参数，再由该控制单元补正该探针的水平测量位置。

所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其中：还包含有一计算垂直差异量的步骤，该控制单元控制该探针卡在垂直方向接近该电性垫，且在垂直移动过程中，该影像撷取单元对该电性垫与该针尖进行影像撷取，该影像传输给该控制单元，当该控制单元侦测该针尖于水平方向有相对位移时，判断该针尖已接触该电性垫，该控制单元计算此刻垂直位置相对于该垂直位置参数的差值而成为该垂直差异量。

所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其中：还包含有一补正垂直测量位置的步骤，该控制单元结合该垂直位置参数与该垂直差异量成为补正后的垂直位置参数，再由该控制单元补正该探针卡的垂直位测量位置。

所述的探针卡更换后机构位置的补正方法，其中：该探针卡的各探针分别对应各测量位置所设的该电性垫。