[发明专利]一种薄片状半导体零件夹取装置在审

专利信息
申请号: 201810773216.X 申请日: 2018-07-14
公开(公告)号: CN108987329A 公开(公告)日: 2018-12-11
发明(设计)人: 陈明珠;吴娟;胡子诺 申请(专利权)人: 安徽工程大学
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L21/677
代理公司: 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 代理人: 杨红梅
地址: 241000 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种薄片状半导体零件夹取装置,包括横向滑动块、横向螺杆、横向导杆、横向滑座、第一电机、第一滑动支板、第二滑动支板、夹紧装置及工作台,工作台的承载面上设有多个均匀布置的感应点位,还包括单片机,夹紧装置、第一电机、第三电机及感应点位分别与单片机电性连接。本发明能够精准的找到工作台上放置的半导体零件的重心位置,然后夹紧装置在重心位置进行夹取,防止偏心夹取,能够保证夹取位置的精确与稳定,且通过负压吸取的方式夹取半导体零件,能够防止夹取过程中机械部件直接施力在半导体零件上,导致半导体零件变形,影响质量。
搜索关键词: 半导体零件 夹取 夹紧装置 电机 滑动支板 夹取装置 重心位置 薄片状 单片机 工作台 点位 偏心 横向滑动块 电性连接 负压吸取 横向导杆 横向滑座 横向螺杆 机械部件 夹取位置 均匀布置 施力 变形 承载 保证
【主权项】:
1.一种薄片状半导体零件夹取装置,包括横向滑动块(1)、横向螺杆(2)、横向导杆(3)、横向滑座(4)、第一电机(5)、第一滑动支板(6)、第二滑动支板(7)、夹紧装置(8)及工作台(9),其特征在于:所述夹紧装置(8)连接于横向滑动块(1)的下端表面,所述横向滑座(4)呈横向贯穿于横向滑动块(1),所述横向螺杆(2)、横向导杆(3)均连接于横向滑座(4)的上端表面上,所述横向滑座(4)的左右两端分别与第二滑动支板(7)、第一滑动支板(6)连接,所述第一电机(5)的一端呈横向贯穿第一滑动支板(6)并与横向滑座(4)嵌套连接,工作台(9)的左右两侧分别对称的设有第三电机(10)、纵向螺杆(11)及纵向导杆(12),第三电机(10)的输出轴与纵向螺杆(11)固定连接,纵向螺杆(11)与纵向导杆(12)平行设置,第二滑动支板(7)与第一滑动支板(6)朝向工作台(9)的一侧分别设有第二纵向滑动块(701)和第一纵向滑动块,第二纵向滑动块(701)与工作台(9)左侧的纵向螺杆(11)螺接,且与工作台(9)左侧的纵向导杆(12)滑动连接,第一纵向滑动块与工作台(9)右侧的纵向螺杆(11)螺接,且与工作台(9)右侧的纵向导杆(12)滑动连接,工作台(9)的承载面上设有多个均匀布置的感应点位(901),还包括单片机,夹紧装置(8)、第一电机(5)、第三电机(10)及感应点位(901)分别与单片机电性连接;所述夹紧装置(8)由电机驱动机构(801)、连接皮带(802)、多级驱动机构(803)、气压泵开关控制机构(804)、气压泵(805)、夹取机构(806)、导气机构(807)及夹紧装置外壳体(808)组成,所述夹紧装置外壳体(808)连接于横向滑动块(1)的下端表面,所述夹紧装置外壳体(808)内表面的一侧设有电机驱动机构(801),所述多级驱动机构(803)通过连接皮带(802)连接于电机驱动机构(801)的另一端,所述夹取机构(806)的上端表面与多级驱动机构(803)一端的下表面相焊接,所述导气机构(807)的上端表面与多级驱动机构(803)另一端的下表面活动连接,所述多级驱动机构(803)另一端的上表面与气压泵开关控制机构(804)活动连接,所述气压泵(805)通过气压泵开关控制机构(804)与导气机构(807)连接。
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