[发明专利]一种薄片状半导体零件夹取装置在审
| 申请号: | 201810773216.X | 申请日: | 2018-07-14 |
| 公开(公告)号: | CN108987329A | 公开(公告)日: | 2018-12-11 |
| 发明(设计)人: | 陈明珠;吴娟;胡子诺 | 申请(专利权)人: | 安徽工程大学 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 杨红梅 |
| 地址: | 241000 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明公开了一种薄片状半导体零件夹取装置,包括横向滑动块、横向螺杆、横向导杆、横向滑座、第一电机、第一滑动支板、第二滑动支板、夹紧装置及工作台,工作台的承载面上设有多个均匀布置的感应点位,还包括单片机,夹紧装置、第一电机、第三电机及感应点位分别与单片机电性连接。本发明能够精准的找到工作台上放置的半导体零件的重心位置,然后夹紧装置在重心位置进行夹取,防止偏心夹取,能够保证夹取位置的精确与稳定,且通过负压吸取的方式夹取半导体零件,能够防止夹取过程中机械部件直接施力在半导体零件上,导致半导体零件变形,影响质量。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体零件 夹取 夹紧装置 电机 滑动支板 夹取装置 重心位置 薄片状 单片机 工作台 点位 偏心 横向滑动块 电性连接 负压吸取 横向导杆 横向滑座 横向螺杆 机械部件 夹取位置 均匀布置 施力 变形 承载 保证 | ||
【主权项】:
1.一种薄片状半导体零件夹取装置,包括横向滑动块(1)、横向螺杆(2)、横向导杆(3)、横向滑座(4)、第一电机(5)、第一滑动支板(6)、第二滑动支板(7)、夹紧装置(8)及工作台(9),其特征在于:所述夹紧装置(8)连接于横向滑动块(1)的下端表面,所述横向滑座(4)呈横向贯穿于横向滑动块(1),所述横向螺杆(2)、横向导杆(3)均连接于横向滑座(4)的上端表面上,所述横向滑座(4)的左右两端分别与第二滑动支板(7)、第一滑动支板(6)连接,所述第一电机(5)的一端呈横向贯穿第一滑动支板(6)并与横向滑座(4)嵌套连接,工作台(9)的左右两侧分别对称的设有第三电机(10)、纵向螺杆(11)及纵向导杆(12),第三电机(10)的输出轴与纵向螺杆(11)固定连接,纵向螺杆(11)与纵向导杆(12)平行设置,第二滑动支板(7)与第一滑动支板(6)朝向工作台(9)的一侧分别设有第二纵向滑动块(701)和第一纵向滑动块,第二纵向滑动块(701)与工作台(9)左侧的纵向螺杆(11)螺接,且与工作台(9)左侧的纵向导杆(12)滑动连接,第一纵向滑动块与工作台(9)右侧的纵向螺杆(11)螺接,且与工作台(9)右侧的纵向导杆(12)滑动连接,工作台(9)的承载面上设有多个均匀布置的感应点位(901),还包括单片机,夹紧装置(8)、第一电机(5)、第三电机(10)及感应点位(901)分别与单片机电性连接;所述夹紧装置(8)由电机驱动机构(801)、连接皮带(802)、多级驱动机构(803)、气压泵开关控制机构(804)、气压泵(805)、夹取机构(806)、导气机构(807)及夹紧装置外壳体(808)组成,所述夹紧装置外壳体(808)连接于横向滑动块(1)的下端表面,所述夹紧装置外壳体(808)内表面的一侧设有电机驱动机构(801),所述多级驱动机构(803)通过连接皮带(802)连接于电机驱动机构(801)的另一端,所述夹取机构(806)的上端表面与多级驱动机构(803)一端的下表面相焊接,所述导气机构(807)的上端表面与多级驱动机构(803)另一端的下表面活动连接,所述多级驱动机构(803)另一端的上表面与气压泵开关控制机构(804)活动连接,所述气压泵(805)通过气压泵开关控制机构(804)与导气机构(807)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽工程大学,未经安徽工程大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201810773216.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





