[发明专利]一种太阳能电池晶体硅用插片装置在审
| 申请号: | 201810736549.5 | 申请日: | 2018-07-06 |
| 公开(公告)号: | CN109037127A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
| 发明(设计)人: | 刘宏;王春定;龚志国;姚学森;刘柏林 | 申请(专利权)人: | 天长市百盛半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司: | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) 34119 | 代理人: | 傅磊 |
| 地址: | 239300 安徽省滁州市天长*** | 国省代码: | 安徽;34 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明公开了一种太阳能电池晶体硅用插片装置,包括:主杆体和位于主杆体的一侧且其一端与主杆体连接的支杆,其中:支杆设有多个,各支杆沿主杆体的长度方向等间距布置,且各支杆远离主杆体的一端均设有吸附机构,吸附机构包括吸杆、安装在吸杆一端的吸嘴和用于使吸杆内部产生负压的负压发生器,所述吸杆远离吸嘴的一端与支杆活动连接,且吸杆具有第一位置状态和第二位置状态,当其处于第一位置状态时,吸杆与支杆位于同一直线上,当其处于第二位置状态时,吸杆垂直于支杆;每个支杆上均安装有用于驱动支杆在第一位置状态和第二位置状态之间循环切换的动力机构,且各支杆上的动力机构统一动作。本发明可以有效提高单晶硅片的生产效率。 | ||
| 搜索关键词: | 支杆 吸杆 主杆体 第二位置 第一位置 太阳能电池 插片装置 动力机构 吸附机构 晶体硅 状态时 吸嘴 等间距布置 负压发生器 单晶硅片 活动连接 生产效率 同一直线 循环切换 负压 垂直 驱动 统一 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能电池晶体硅用插片装置,其特征在于,包括:主杆体(1)和位于主杆体(1)的一侧且其一端与主杆体(1)连接的支杆(2),其中:支杆(2)设有多个,各支杆(2)沿主杆体(1)的长度方向等间距布置,且各支杆(2)远离主杆体(1)的一端均设有吸附机构,吸附机构包括吸杆(3)、安装在吸杆(3)一端的吸嘴(4)和用于使吸杆(3)内部产生负压的负压发生器,所述吸杆(3)远离吸嘴(4)的一端与支杆(2)活动连接,且吸杆(3)具有第一位置状态和第二位置状态,当其处于第一位置状态时,吸杆(3)与支杆(2)位于同一直线上,当其处于第二位置状态时,吸杆(3)垂直于支杆(2);每个支杆(2)上均安装有用于驱动支杆(2)在第一位置状态和第二位置状态之间循环切换的动力机构,且各支杆(2)上的动力机构统一动作。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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