[发明专利]一种掩模板及蒸镀设备

摘要

本发明提供了一种掩模板及蒸镀设备，该掩模板包括：设有多个像素开口的第一掩模板，包括第一预设区域和第二预设区域；叠放于第一掩模板一侧的第二掩模板，包括第第一投影区域及第二投影区域；多个像素开口在第一预设区域分为至少一个第一子区域，第二掩模板在第一投影区域设有第一开口部，第一子区域与至少一个第一开口部正对，第一开口部在第一掩模板上的正投影落入对应的第一子区域内；多个像素开口在第二预设区域处分为多个第二子区域，第二掩模板在第二投影区域设有多个第二开口部，每一第二子区域与一个第二开口部正对，每一第二子区域在第二掩模板的正投影落入对应的第二开口部内。本发明的掩模板及蒸镀设备在蒸镀时可减少混色类不良。

主权项

1.一种掩模板，用于在显示基板上进行蒸镀；其特征在于，包括：第一掩模板，所述第一掩模板设有多个像素开口，所述第一掩模板包括第一预设区域和第二预设区域；及，叠放于所述第一掩模板一侧的第二掩模板，所述第二掩模板包括所述第一预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第一投影区域、及所述第二预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第二投影区域；其中，多个所述像素开口在所述第一预设区域分为至少一个第一子区域，所述第二掩模板在所述第一投影区域设有第一开口部，所述第一开口部的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第一子区域与至少一个所述第一开口部正对，且所述第一开口部在所述第一掩模板上的正投影落入对应的所述第一子区域内；多个所述像素开口在所述第二预设区域处分为多个第二子区域，所述第二子区域的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第二掩模板在所述第二投影区域设有多个第二开口部，每一所述第二子区域与一个所述第二开口部正对，且每一所述第二子区域在所述第二掩模板上的正投影落入对应的所述第二开口部内。