[发明专利]一种掩模板及蒸镀设备

说明书

本发明提供了一种掩模板及蒸镀设备，该掩模板包括：设有多个像素开口的第一掩模板，包括第一预设区域和第二预设区域；叠放于第一掩模板一侧的第二掩模板，包括第第一投影区域及第二投影区域；多个像素开口在第一预设区域分为至少一个第一子区域，第二掩模板在第一投影区域设有第一开口部，第一子区域与至少一个第一开口部正对，第一开口部在第一掩模板上的正投影落入对应的第一子区域内；多个像素开口在第二预设区域处分为多个第二子区域，第二掩模板在第二投影区域设有多个第二开口部，每一第二子区域与一个第二开口部正对，每一第二子区域在第二掩模板的正投影落入对应的第二开口部内。本发明的掩模板及蒸镀设备在蒸镀时可减少混色类不良。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其是涉及一种掩模板及蒸镀设备。

背景技术

在OLED(Organic Light Emission Display，有机电致发光二极管)制造技术中，真空蒸镀用的掩膜板是至关重要的部件，掩膜板的质量直接影响着生产制造成本和产品质量。OLED蒸镀过程用的掩膜板中，精细金属掩膜板(Fine Metal Mask，简称：FMM)是其中最关键的装备之一。FMM用于蒸镀发光层材料，在背板上形成像素图形，因此，FMM质量的好坏直接关系到屏幕的显示效果。

随着AMOLED(Active-matrix organic light emitting diode，有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体)显示屏的快速发展，已经应用到人们生活中的各个领域，尤其，最近在智能可穿戴领域的需求量迅速增多，并且显示屏形状已不仅仅是传统的方形屏幕，而是更具有设计感的形状的圆形等异形形状。

这种例如圆形等异形形状的OLED产品对于蒸镀掩膜板的要求比较高，目前，圆形等异形形状的OLED产品所采用的蒸镀掩模板，主要有以下两种：

第一种，遮挡式开口掩模板(Cover Open Mask)与精细金属掩模板(FMM)组合式蒸镀掩模板，这种蒸镀掩模板是在FMM下方叠放一张Cover Open Mask，Cover Open Mask上进行显示区域的异形形状图案化设计，即，在Cover Open Mask上形成有异形形状的开口图案，用以限定出显示区域的形状，FMM上不进行图案化设计，即，FMM上不用限定显示区域的异形形状，仅形成阵列分布的多个像素开口；

第二种，遮挡条和支撑条(CoverHowling stick)与精细金属掩模板(FMM)组合式蒸镀掩模板，这种蒸镀掩模板是在FMM下方设置横纵交错的遮挡条与支撑条，其中，在FMM上需进行图案化设计，也就是说，FMM上设有多个像素开口，且多个像素开口的分布形状用于限定出显示区域为圆形等异形形状。

这两种结构的蒸镀掩模板在进行蒸镀时，会在显示基板的不同区域处产生混色等蒸镀不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种掩模板及蒸镀设备，能够改善现有技术中蒸镀掩模板所存在的混色等蒸镀不良的问题。

本发明所提供的技术方案如下：

一种掩模板，用于在显示基板上进行蒸镀；包括：

第一掩模板，所述第一掩模板设有多个像素开口，所述第一掩模板包括第一预设区域和第二预设区域；

及，叠放于所述第一掩模板一侧的第二掩模板，所述第二掩模板包括所述第一预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第一投影区域、及所述第二预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第二投影区域；

其中，多个所述像素开口在所述第一预设区域分为至少一个第一子区域，所述第二掩模板在所述第一投影区域设有第一开口部，所述第一开口部的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第一子区域与至少一个所述第一开口部正对，且所述第一开口部在所述第一掩模板上的正投影落入对应的所述第一子区域内；