[发明专利]一种掩模板及蒸镀设备

权利要求书

1.一种掩模板，用于在显示基板上进行蒸镀；其特征在于，包括：

第一掩模板，所述第一掩模板设有多个像素开口，所述第一掩模板包括第一预设区域和第二预设区域；

及，叠放于所述第一掩模板一侧的第二掩模板，所述第二掩模板包括所述第一预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第一投影区域、及所述第二预设区域在所述第二掩模板上的正投影所对应的第二投影区域；

其中，多个所述像素开口在所述第一预设区域分为至少一个第一子区域，所述第二掩模板在所述第一投影区域设有第一开口部，所述第一开口部的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第一子区域与至少一个所述第一开口部正对，且所述第一开口部在所述第一掩模板上的正投影落入对应的所述第一子区域内；

多个所述像素开口在所述第二预设区域处分为多个第二子区域，所述第二子区域的形状对应于所述显示基板上的显示区域形状，所述第二掩模板在所述第二投影区域设有多个第二开口部，每一所述第二子区域与一个所述第二开口部正对，且每一所述第二子区域在所述第二掩模板上的正投影落入对应的所述第二开口部内。

2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述第一预设区域为所述第一掩模板的中间区域，所述第二预设区域为所述第一掩模板的周边区域，所述周边区域围绕于所述中间区域的四周。

3.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述第二掩模板在所述第二投影区域处设有多个支撑条和多个遮挡条，多个所述支撑条和多个所述遮挡条纵横交错设置，形成多个所述第二开口部。

4.根据权利要求3所述的掩模板，其特征在于，

所述第二掩模板在所述第一投影区域处为一板状结构，所述第一开口部开设于所述板状结构上。

5.根据权利要求4所述的掩模板，其特征在于，

所述第二掩模板在所述第二投影区域处、所述支撑条与所述遮挡条连接为一体结构。

6.根据权利要求4所述的掩模板，其特征在于，

所述支撑条、所述遮挡条与所述板状结构连接为一体结构。

7.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述第一开口部与所述第二子区域的形状均为圆形或椭圆形。

8.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，

所述第一子区域呈矩形形状，所述第二开口部呈矩形形状。

9.根据权利要求8所述的掩模板，其特征在于，

所述第一子区域的数量与所述第一开口部的数量相同，一个所述第一子区域对应一个所述第一开口部。

10.一种蒸镀设备，其特征在于，包括如权利要求1至9任一项所述的掩模板。