[发明专利]一种工艺处理装置

摘要

本发明公开了一种工艺处理装置，涉及液晶显示器和半导体设备的制造工艺技术领域，包括形成对物料进行加工的腔体的壳体，所述壳体设置有物料传输出入口和第一抽排口，所述第一抽排口连接有抽排装置；还包括与所述壳体连接的气密封管路，所述气密封管路包括第一通道和第二通道，第一通道一端与所述物料传输出入口连接，另一端与所述第一抽排口连接；第二通道一端与所述壳体内部连通，另一端与所述第一通道中间连通。本发明通过工艺处理装置中添加气密封管路解决工艺处理装置在壳体内对物料进行加工过程中，有害气体及热量从物料传输出入口泄漏出去污染环境的问题。

主权项

1.一种工艺处理装置，包括形成对物料(5)进行加工的腔体的壳体(2)，所述壳体(2)上设置有物料传输出入口和第一抽排口(23)，所述第一抽排口(23)连接有抽排装置；其特征在于，还包括与所述壳体(2)连接的气密封管路，所述气密封管路包括：第一通道(11)，其一端连接所述物料传输出入口连接，另一端与所述第一抽排口(23)连接；第二通道(12)，其一端与所述壳体(2)内部连通，另一端与所述第一通道(11)中间连通。