[发明专利]一种工艺处理装置

权利要求书

1.一种工艺处理装置，包括形成对物料(5)进行加工的腔体的壳体(2)，所述壳体(2)上设置有物料传输出入口和第一抽排口(23)，所述第一抽排口(23)连接有抽排装置；其特征在于，还包括与所述壳体(2)连接的气密封管路，所述气密封管路包括：

第一通道(11)，其一端连接所述物料传输出入口连接，另一端与所述第一抽排口(23)连接；

第二通道(12)，其一端与所述壳体(2)内部连通，另一端与所述第一通道(11)中间连通。

2.根据权利要求1所述的工艺处理装置，其特征在于，所述第一通道(11)包括相互连通的第一导流通道(111)和第二导流通道(112)，所述第一导流通道(111)与所述物料传输出入口连接，所述第二导流通道(112)与所述第一抽排口(23)连接，其中所述第二通道(12)与所述第一导流通道(111)连通。

3.根据权利要求2所述的工艺处理装置，其特征在于，所述第一导流通道(111)和所述第二通道(12)共线。

4.根据权利要求3所述的工艺处理装置，其特征在于，所述第一导流通道(111)和所述第二通道(12)均与所述第二导流通道(112)垂直。

5.根据权利要求3所述的工艺处理装置，其特征在于，所述第一导流通道(111)与所述第二导流通道(112)呈钝角，所述第二通道(12)与所述第二导流通道(112)呈锐角。

6.根据权利要求3所述的工艺处理装置，其特征在于，所述第一导流通道(111)与所述第二导流通道(112)的连接处呈圆弧弯道，所述圆弧弯道的两端分别与所述第一导流通道(111)和所述第二导流通道(112)相切。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的工艺处理装置，其特征在于，所述工艺处理装置为EUV清洁装置。

8.根据权利要求7所述的工艺处理装置，其特征在于，所述第一通道(11)与所述物料传输出入口连接的一端的横截面与所述物料传输出入口的形状相同。

9.根据权利要求7所述的工艺处理装置，其特征在于，所述壳体(2)还设置有第二抽排口(24)，所述第二抽排口(24)连接有抽排装置。

10.根据权利要求9所述的工艺处理装置，其特征在于，所述第二抽排口(24)尺寸和/或数量大于所述第一抽排口(23)尺寸和/或数量。