[发明专利]取放版手单元、掩模传输系统和掩模传输方法有效
| 申请号： | 201810691384.4 | 申请日： | 2018-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110658684B | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 吴芬;郑教增;姜杰;陈淮阳 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩模传输系统，包括：外版库单元、取放版手单元、颗粒度检测单元、内版库单元和交换版手单元；其中，取放版手单元包括：版叉、微动调整结构、控制器和机械臂，所述版叉与所述机械臂刚性连接，所述控制器设置于所述机械臂上，在本发明提供的取放版手单元、掩模传输系统和掩模传输方法中，通过微动调整结构调整取放版手单元的版叉的水平度，从而增加了取放版手单元与外版库单元、内版库单元、颗粒度检测单元和交换版手单元进行掩模版交接的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 取放版手 单元 传输 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种取放版手单元，其特征在于，所述取放版手单元包括：控制箱、机械臂和版叉，所述版叉与所述机械臂的末端刚性连接，所述控制箱用于控制所述机械臂的姿势，所述版叉包括解耦组件、安装在所述解耦组件上的调节螺钉、安装在所述解耦组件上用于检测所述版叉与所述机械臂的扭转力矩的力矩传感器、位于所述力矩传感器和所述解耦组件之间的弹簧、安装在所述力矩传感器两侧的V型槽、安装在所述力矩传感器上的安装板、安装在所述V型槽内用于保护所述版叉的碰撞恢复球头、安装在所述碰撞恢复球头上的微动调整结构，以及安装在所述微动调整结构上的版叉本体。/n
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