[发明专利]取放版手单元、掩模传输系统和掩模传输方法

说明书

本发明提供了一种掩模传输系统，包括：外版库单元、取放版手单元、颗粒度检测单元、内版库单元和交换版手单元；其中，取放版手单元包括：版叉、微动调整结构、控制器和机械臂，所述版叉与所述机械臂刚性连接，所述控制器设置于所述机械臂上，在本发明提供的取放版手单元、掩模传输系统和掩模传输方法中，通过微动调整结构调整取放版手单元的版叉的水平度，从而增加了取放版手单元与外版库单元、内版库单元、颗粒度检测单元和交换版手单元进行掩模版交接的准确度。

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及一种取放版手单元、掩模传输系统和掩模传输方法。

背景技术

光刻设备是一种将所需图案作用于基底区域部位的设备，而光刻设备中的掩模版主要是用以制造器件。掩模传输系统为光刻机必不可少的分系统，掩模传输的主要功能包含上版功能和下版功能。根据当前光刻机的掩模传输系统的布局，取放版手单元主要与外版库单元、内版库单元、颗粒度检测单元和交换版手单元进行掩模版交接。取放版手单元需与多个工位进行交接，然而多个工位的相对位置难以保证，给取放版手单元交接带来了一定的挑战。

发明内容

本发明的目的在于提供一种取放版手单元、掩模传输系统和掩模传输方法，以提高取放版手单元与多个工位交接掩模板的准确性。

为了达到上述目的，本发明提供了一种取放版手单元，所述取放版手单元包括：版叉、微动调整结构、控制器和机械臂，所述版叉与所述机械臂刚性连接，所述控制器设置于所述机械臂上。

可选的，在所述的取放版手单元中，所述取放版手单元还包括第一水平仪，所述第一水平仪设置于所述版叉上用于检测所述版叉的水平度。

可选的，在所述的取放版手单元中，所述微动调整结构包括：平面板、直线电机和底座；所述直线电机安装在所述底座上，所述平面板安装在所述直线电机上，所述平面板与所述版叉的底面相贴。

可选的，在所述的取放版手单元中，所述直线电机的数量为多个。

可选的，在所述的取放版手单元中，所述直线电机通过铰链安装在所述底座上。

本发明还提供了一种掩模传输系统，所述掩模传输系统包括：外版库单元、如上述所述的任一项取放版手单元、颗粒度检测单元、内版库单元和交换版手单元；

所述外版库单元用于存放掩模版；

所述取放版手单元用于分别与所述外版库单元、颗粒度检测单元、所述内版库单元和所述交换版手单元交接掩模板；

所述颗粒度检测单元用于检测掩模版颗粒度；

所述内版库单元用于存放颗粒度检测后的掩模版；

所述交换版手单元用于与所述取放版手单元进行掩模版交接并将掩模版送至掩模台。

可选的，在所述的掩模传输系统中，所述外版库单元、颗粒度检测单元、内版库单元和交换版手单元的工位处都设置有第二水平仪，用于检测工位的水平度。

本发明还提供了一种掩模传输方法，所述掩模传输方法包括：

取放版手单元调整姿态从所述外版库单元取掩模版；

取放版手单元调整姿态从所述外版库单元取版并送至所述交换版手单元；

所述交换版手单元将掩模版送至掩模台。

可选的，在所述的掩模传输方法中，在取放版手单元调整姿态从所述外版库单元取掩模版之后，以及取放版手单元调整姿态从所述外版库单元取版并送至所述交换版手单元之前，所述掩模传输方法还包括：

取放版手单元调整姿态将掩模版送至所述颗粒度检测单元；

颗粒度检测单元对掩模版进行颗粒度检测；