[发明专利]取放版手单元、掩模传输系统和掩模传输方法

权利要求书

1.一种取放版手单元，其特征在于，所述取放版手单元包括：控制箱、机械臂和版叉，所述版叉与所述机械臂的末端刚性连接，所述控制箱用于控制所述机械臂的姿势，所述版叉包括解耦组件、安装在所述解耦组件上的调节螺钉、安装在所述解耦组件上用于检测所述版叉与所述机械臂的扭转力矩的力矩传感器、位于所述力矩传感器和所述解耦组件之间的弹簧、安装在所述力矩传感器两侧的V型槽、安装在所述力矩传感器上的安装板、安装在所述V型槽内用于保护所述版叉的碰撞恢复球头、安装在所述碰撞恢复球头上的微动调整结构，以及安装在所述微动调整结构上的版叉本体。

2.如权利要求1所述的取放版手单元，其特征在于，所述取放版手单元还包括第一水平仪，所述第一水平仪设置于所述版叉本体上用于检测所述版叉本体的水平度。

3.如权利要求1所述的取放版手单元，其特征在于，所述微动调整结构包括：平面板、直线电机和底座；所述直线电机的两端分别与所述平面板和所述底座铰接，所述平面板与所述版叉本体的底面相贴。

4.如权利要求3所述的取放版手单元，其特征在于，所述直线电机的数量为多个。

5.一种掩模传输系统，其特征在于，所述掩模传输系统包括：外版库单元、如权利要求1～4任一项所述的取放版手单元、颗粒度检测单元、内版库单元和交换版手单元；

所述外版库单元用于存放掩模版；

所述取放版手单元用于分别与所述外版库单元、所述颗粒度检测单元、所述内版库单元和所述交换版手单元交接掩模版；

所述颗粒度检测单元用于检测掩模版颗粒度；

所述内版库单元用于存放颗粒度检测后的掩模版；

所述交换版手单元用于与所述取放版手单元进行掩模版交接并将掩模版送至掩模台。

6.如权利要求5所述的掩模传输系统，其特征在于，所述外版库单元、颗粒度检测单元、内版库单元和交换版手单元的工位处都设置有第二水平仪，用于检测工位的水平度。

7.一种如权利要求5～6中任一项所述的掩模传输系统的掩模传输方法，其特征在于，所述掩模传输方法包括：

取放版手单元调整姿态从所述外版库单元取掩模版；

取放版手单元调整姿态从所述外版库单元取版并送至所述交换版手单元；

所述交换版手单元将掩模版送至掩模台。

8.如权利要求7所述的掩模传输方法，其特征在于，在取放版手单元调整姿态从所述外版库单元取掩模版之后，以及取放版手单元调整姿态从所述外版库单元取版并送至所述交换版手单元之前，所述掩模传输方法还包括：

取放版手单元调整姿态将掩模版送至所述颗粒度检测单元；

颗粒度检测单元对掩模版进行颗粒度检测；

取放版手单元调整姿态从所述颗粒度检测单元取版；

取放版手单元调整姿态将掩模版送至所述内版库单元；

取放版手单元调整姿态从所述内版库单元取版并送至所述交换版手单元。

9.如权利要求8所述的掩模传输方法，其特征在于，所述外版库单元、颗粒度检测单元、内版库单元和交换版手单元的工位处都设置有第二水平仪，所述第二水平仪分别检测所述外版库单元、颗粒度检测单元、内版库单元和交换版手单元的工位处的水平度，并传送给所述取放版手单元的控制器，所述取放版手单元的微动调整结构根据控制器的数据调节版叉本体的水平姿态。

10.如权利要求9所述的掩模传输方法，其特征在于，所述微动调整结构包括：平面板、直线电机和底座，所述直线电机的两端分别与所述平面板和所述底座铰接，所述平面板与所述版叉本体的底面相贴，所述微动调整结构调节版叉本体的水平姿态的步骤包括：直线电机运动，调整与直线电机对应的平面板，直到平面板的水平度与第二水平仪的水平度相同。

11.如权利要求9所述的掩模传输方法，其特征在于，所述取放版手单元还包括第一水平仪，所述第一水平仪设置于所述版叉本体上用于检测所述版叉本体的水平度，取放版手单元取版送至所述交换版手单元时，所述控制器比较所述第一水平仪和所述第二水平仪的水平度，如果所述第一水平仪和所述第二水平仪的水平度不一致，所述直线电机调节所述平面板的水平度。