[发明专利]一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法

摘要

本发明公开了一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，它包括以下步骤：1)制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后(步骤间都有水漂洗)，通过一种化学混合液处理，所述混合液为氢氧化钾、氨水、双氧水和水组成的碱性混合液，且混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水＝2～23:3～6:1～15:191～229，所述的氢氧化钾的浓度为40％～48％，所述的氨水的浓度为20％～27％，所述的双氧水的浓度为22％～30％，并将湿法黑硅制绒硅片减重控制在0.35～0.45g；2)从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，本发明提供一种能降低电池片量产的低效比例的解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法。

主权项

1.一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，它包括以下步骤：1)制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后(步骤间都有水漂洗)，通过一种化学混合液处理，所述混合液为氢氧化钾、氨水、双氧水和水组成的碱性混合液，且混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水＝1～30:2～9:1～19:180～235，所述的氢氧化钾的浓度为40％～48％，所述的氨水的浓度为20％～27％，所述的双氧水的浓度为22％～30％，并将湿法黑硅制绒硅片减重控制在0.35～0.45g；2)从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，就是依次进行扩散、去PSG、刻蚀、PECVD镀膜、丝网印刷和测试。