[发明专利]一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法

权利要求书

1.一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片 EL 不良的方法，它包括以下步骤：

1） 制绒：将原硅片通过去除损伤层、银沉积、挖孔、初步脱银、扩孔的处理后，以上步骤间都有水漂洗，通过一种化学混合液处理，所述混合液为氢氧化 钾、氨水、双氧水和水组成的碱性混合液，且混合液中的体积比为氢氧化钾： 氨水：双氧水：水=1~30:2~9:1~19:180~235，所述的氢氧化钾的浓度为 40%~48%， 所述的氨水的浓度为 20%~27%，所述的双氧水的浓度为 22%~30%，并将湿法黑硅制绒硅片减重控制在 0.35~0.45g；

2） 从正常产线流程的扩散工序开始进入到正常产线流程中处理即可，就是依次进行扩散、去PSG、刻蚀、PECVD 镀膜、丝网印刷和测试；

在步骤1）中处理时，利用清洗机进行水漂洗，所述的清洗机的进料速度控制在205~250s/480片；混合液中氢氧化钾的补充原则为每过480 片湿法黑硅扩孔后的硅片后补充110~300ml，氨水的补充原则为每过480 片湿法黑硅扩孔后的硅片后补充 90~200ml；双氧水的补充原则为每过480 片湿法黑硅扩孔后的硅片后补充 150~300ml；温度控制在室温即可，浸泡时间为160s；

所述的步骤 2）中扩散处理时，方阻控制在 80~110Ω； 所述的步骤 2）中刻蚀处理时，减重控制在 0.1~0.2g。

2.根据权利要求1所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水

=2~23:3~6:1~15:191~229。

3.根据权利要求2所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的混合液中的体积比为氢氧化钾：氨水：双氧水：水

=23:5:15:192。

4.根据权利要求1所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的氢氧化钾的浓度为 42%~46%。

5.根据权利要求1所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的氨水的浓度为 22%~26%。

6.根据权利要求1所述的一种解决金刚线湿法刻蚀黑硅电池片EL不良的方法，其特征在于：所述的双氧水的浓度为 24%~29%。