[发明专利]钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料有效
| 申请号： | 201810644548.8 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN108754183B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;杨恕鉴 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22B34/12 | 分类号： | C22B34/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李佳 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明属于真空蒸发镀膜蒸发料技术领域，尤其涉及一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料，其制备方法包括如下步骤：(a)对原料钛进行预处理；(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10‑20min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5‑15min；再酸洗3‑6min；然后在水中超声波振荡5‑10min；再进行干燥；(c)将步骤(b)得到的钛放入离心研磨机中，加入清洁剂和水进行离心研磨；所述清洁剂用量为30‑50mL，研磨转速为180‑200r/min，研磨时间为10‑20min；(d)对步骤(c)得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。该制备方法流程简单易工业化，易于生产管控，制备出的钛蒸发料具有较高的洁净度和纯度，钛含量为99.999％‑99.9999％，产品合格率为50％‑60％。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(a)对原料钛进行预处理；(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10‑20min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5‑15min；再酸洗3‑6min；然后在水中超声波振荡5‑10min；再进行干燥；(c)将步骤(b)得到的钛放入离心研磨机中，加入清洁剂和水进行离心研磨；所述清洁剂用量为30‑50mL，研磨转速为180‑200r/min，研磨时间为10‑20min；(d)对步骤(c)得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。
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