[发明专利]钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料

说明书

本发明属于真空蒸发镀膜蒸发料技术领域，尤其涉及一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料，其制备方法包括如下步骤：(a)对原料钛进行预处理；(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10‑20min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5‑15min；再酸洗3‑6min；然后在水中超声波振荡5‑10min；再进行干燥；(c)将步骤(b)得到的钛放入离心研磨机中，加入清洁剂和水进行离心研磨；所述清洁剂用量为30‑50mL，研磨转速为180‑200r/min，研磨时间为10‑20min；(d)对步骤(c)得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。该制备方法流程简单易工业化，易于生产管控，制备出的钛蒸发料具有较高的洁净度和纯度，钛含量为99.999％‑99.9999％，产品合格率为50％‑60％。

技术领域

本发明涉及真空蒸发镀膜蒸发料技术领域，尤其是涉及一种钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料。

背景技术

半导体集成电路用真空镀膜材料是晶圆背金工艺不可或缺的原料，而钛蒸发料为半导体电子器件制造中重要的配套材料，随着我国集成电路产业的快速发展，此种蒸发镀膜材料的消耗量逐年增加，市场广阔。由于集成电路的集成度越来越高，互联线宽度不断减小，钛的纯度和杂质含量直接影响着电子薄膜的性能，因此，对于钛蒸发料需要在使用中确保蒸发料的高纯度及洁净度。

目前通过现有技术制备的钛蒸发料纯度不高，洁净度较差，气体杂质元素含量较高，产品表面经常会有飞边、毛刺、裂纹、油污、锈蚀和颗粒附加物等缺陷，导致产品合格率较低，并且目前钛蒸发料的制造流程也较为复杂。

鉴于此，特提出本发明。

发明内容

本发明的第一个目的是提供一种钛蒸发料的制备方法，以缓解现有技术中存在的钛蒸发料纯度及洁净度不高，制造流程复杂，产品合格率低的技术问题。该制备方法流程简单易工业化，易于生产管控。

本发明的第二个目的是提供一种钛蒸发料，该钛蒸发料由上述制备方法制得，其表面光亮平整、洁净、边角完整，且纯度较高，钛含量为99.999％-99.9999％。

为了实现本发明的上述目的，特采用以下技术方案：

一种钛蒸发料的制备方法，包括如下步骤：

(a)对原料钛进行预处理；

(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡10-20min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡5-15min；再酸洗3-6min；然后在水中超声波振荡5-10min；再进行干燥；

(c)将步骤(b)得到的钛放入离心研磨机中，加入清洁剂和水进行离心研磨；

所述清洁剂用量为30-50mL，研磨转速为180-200r/min，研磨时间为10-20min；

(d)对步骤(c)得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。

优选地，所述步骤(b)中，预处理后的钛在清洗油中超声波振荡12-15min；在蒸汽干燥系统中超声波振荡8-12min；再酸洗4-5min；最后在水中超声波振荡6-8min；然后进行干燥；

优选地，清洗油为柴油、煤油或汽油中的至少一种；

优选地，酸洗所采用的酸为硫酸、盐酸、磷酸、硝酸、铬酸或氢氟酸中的至少一种；

优选地，采用气枪吹干方式进行干燥。

优选地，所述步骤(c)中，清洁剂用量为35-40mL，研磨转速为185-190r/min，研磨时间为14-16min。

优选地，所述预处理包括下料、锻打、铣表面、热轧、退火热处理、分切、压延、表面抛光和冲压落料。