[发明专利]钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料有效
| 申请号： | 201810644548.8 | 申请日： | 2018-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN108754183B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;杨恕鉴 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C22B34/12 | 分类号： | C22B34/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 李佳 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 制备 方法 | ||
1.一种钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：
(a)对原料钛进行预处理；所述预处理包括下料、锻打、铣表面、热轧、退火热处理、分切、压延、表面抛光和冲压落料；
所述锻打预热温度为800-950℃，锻打变形量为30％-50％，锻打成型后2-3.5min内放入水中冷却；所述热轧温度为500-600℃，压延至6-8mm；所述退火热处理温度为500-600℃，保温时间为2-3h；所述压延至厚度为5±0.2mm；
(b)将预处理后的钛在清洗油中超声波振荡12-15min；然后在蒸汽干燥系统中超声波振荡8-12min；再酸洗4-5min；然后在水中超声波振荡6-8min；再进行干燥；所述清洗油为柴油、煤油或汽油中的至少一种；
(c)将步骤(b)得到的钛放入离心研磨机中，加入清洁剂和水进行离心研磨；
所述清洁剂用量为30-50mL，研磨转速为180-200r/min，研磨时间为10-20min；
(d)对步骤(c)得到的钛进行后处理，得到钛蒸发料。
2.根据权利要求1所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述步骤(b)中，酸洗所采用的酸为硫酸、盐酸、磷酸、硝酸、铬酸或氢氟酸中的至少一种。
3.根据权利要求1所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，采用气枪吹干方式进行干燥。
4.根据权利要求1所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，步骤(c)中，清洁剂用量为35-40mL，研磨转速为185-190r/min，研磨时间为14-16min。
5.根据权利要求1-4任一项所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述步骤(d)中后处理包括超声波清洗、干燥和包装。
6.根据权利要求5所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述超声波清洗时间为5-15min。
7.根据权利要求5所述的钛蒸发料的制备方法，其特征在于，所述干燥温度为65-75℃，真空度为0.02-0.04Pa，干燥时间为1-1.5h。
8.权利要求1-7任一项所述的钛蒸发料的制备方法制得的钛蒸发料。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料股份有限公司，未经宁波江丰电子材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810644548.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
