[发明专利]ICP-MS微流雾化器清洗液及其疏通装置和疏通方法在审
| 申请号： | 201810635180.9 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN108823006A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 俞佳;宋健;姜舜 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/60 | 分类号： | C11D7/60;C11D7/08;C11D7/38;C11D11/00;B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ICP‑MS微流雾化器清洗液，包含体积比为1：1：1：5的氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、过氧化氢(H2O2)和纯水(DIW)。本发明还公开了一种利用所述ICP‑MS微流雾化器清洗液的ICP‑MS微流雾化器疏通装置和一种利用所述ICP‑MS微流雾化器清洗液的ICP‑MS微流雾化器疏通方法。本发明的清洗液对针对含硅基体，高盐基类，高浓度酸和碱等清洗疏通效果显著。本发明的ICP‑MS微流雾化器疏通装置和方法将清洗液反向(与微流雾化器工作流向相反)输入微流雾化器，利用蠕动泵的驱动使清洗液反复冲刷微流雾化器中的堵塞物，能有效疏通堵塞的微流雾化器。本发明的技术方案能延长微流雾化器的使用寿命，从而降低生产成本，提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | 雾化器 清洗液 疏通装置 疏通 高浓度酸 过氧化氢 含硅基体 流向相反 使用寿命 硝酸 堵塞物 氢氟酸 蠕动泵 体积比 产能 冲刷 高盐 基类 清洗 堵塞 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种ICP‑MS微流雾化器清洗液，其特征在于，包含：氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、过氧化氢(H2O2)和纯水(DIW)；氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、过氧化氢(H2O2)和纯水(DIW)的体积比为(0.5‑2)：(0.5‑2)：(0.5‑2)：(13‑1)。
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