[发明专利]ICP-MS微流雾化器清洗液及其疏通装置和疏通方法在审
| 申请号： | 201810635180.9 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN108823006A | 公开（公告）日： | 2018-11-16 |
| 发明（设计）人： | 俞佳;宋健;姜舜 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | C11D7/60 | 分类号： | C11D7/60;C11D7/08;C11D7/38;C11D11/00;B08B9/032 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 焦天雷 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 雾化器 清洗液 疏通装置 疏通 高浓度酸 过氧化氢 含硅基体 流向相反 使用寿命 硝酸 堵塞物 氢氟酸 蠕动泵 体积比 产能 冲刷 高盐 基类 清洗 堵塞 驱动 | ||
1.一种ICP-MS微流雾化器清洗液，其特征在于，包含：氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、过氧化氢(H2O2)和纯水(DIW)；
氢氟酸(HF)、硝酸(HNO3)、过氧化氢(H2O2)和纯水(DIW)的体积比为(0.5-2)：(0.5-2)：(0.5-2)：(13-1)。
2.如权要求1所述ICP-MS微流雾化器清洗液，其特征在于：氢氟酸(HF)的浓度为49％。
3.如权要求1所述ICP-MS微流雾化器清洗液，其特征在于：硝酸(HNO3)的浓度为70％。
4.一种利用权要求1所述ICP-MS微流雾化器清洗液的ICP-MS微流雾化器疏通装置，其特征在于，包括：清洗液存储部、清洗液输送件和清洗驱动部；
清洗液存储部密闭连接微流雾化器上与雾化室的连接端，微流雾化器的气流输入端封闭，微流雾化器的样品输入端通过连接清洗液输送件密闭连接清洗驱动部；
清洗驱动部使清洗液存储部中清洗液经过微流雾化器上与雾化室的连接端流向微流雾化器的样品输入端。
5.如权要求4所述的ICP-MS微流雾化器疏通装置，其特征在于：清洗驱动部是ICP-MS机台自带的蠕动泵，清洗液输送件是蠕动泵软管。
6.一种利用权要求1所述ICP-MS微流雾化器清洗液的ICP-MS微流雾化器疏通方法，其特征在于，包括以下步骤：
1)将清洗液加注到清洗液存储部；
2)将清洗液存储部密闭连接微流雾化器上与雾化室的连接端；
3)将微流雾化器的气流输入端封闭；
4)将微流雾化器的样品输入端密闭连接清洗液输送件；
5)将清洗液输送件密闭连接连接清洗驱动部；
6)启动清洗驱动部将清洗液，使清洗液存储部中清洗液经过微流雾化器上与雾化室的连接端流向微流雾化器的样品输入端。
7.如权要求6所述的ICP-MS微流雾化器疏通方法，其特征在于：清洗驱动部是ICP-MS机台自带的蠕动泵，清洗液输送件是蠕动泵软管。
8.如权要求7所述的ICP-MS微流雾化器疏通方法，其特征在于：蠕动泵转速0.5rps-1rps,清洗时间为5分钟-20分钟。
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