[发明专利]承载台和等离子体设备有效
| 申请号： | 201810613391.2 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN110610840B | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 王文章;陈鹏;刘菲菲 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种承载台和等离子体设备。所述承载台包括承载台本体和沿厚度方向贯穿所述承载台本体的多个针孔，所述承载台还包括至少一个磁体，所述磁体嵌入在所述承载台本体中。有利于抑制针孔内等离子体的激发，提高工艺质量。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 等离子体 设备 | ||
【主权项】：
1.一种承载台，所述承载台包括承载台本体和沿厚度方向贯穿所述承载台本体的多个针孔，其特征在于，所述承载台还包括至少一个磁体，所述磁体嵌入在所述承载台本体中。/n
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