[发明专利]承载台和等离子体设备

权利要求书

1.一种承载台，所述承载台包括承载台本体和沿厚度方向贯穿所述承载台本体的多个针孔，其特征在于，所述承载台还包括至少一个磁体，所述磁体嵌入在所述承载台本体中，且所述磁体在所述针孔内所产生的磁场与所述针孔内的电场不会完全平行。

2.根据权利要求1所述的承载台，其特征在于，所述承载台包括一个磁体，所述磁体的南极和北极的连线方向垂直于所述承载台本体的厚度方向。

3.根据权利要求1所述的承载台，其特征在于，所述磁体成对设置，每对磁体对应一个针孔，同一对磁体中的两个磁体之间彼此相对的磁极极性相反。

4.根据权利要求3所述的承载台，其特征在于，每对磁体的两个磁体之间彼此相对的磁极的连线经过对应的针孔。

5.根据权利要求3所述的承载台，其特征在于，成对设置的磁体均为柱状磁体。

6.根据权利要求5所述的承载台，其特征在于，同一对柱状磁体的轴向平行于对应的针孔的深度方向，同一对柱状磁体的两个磁体之间彼此相对的磁极的连线垂直于对应针孔的深度方向且该连线穿过对应针孔；或者

同一对柱状磁体的轴向垂直于对应的针孔的深度方向，同一对柱状磁体的两个磁体之间彼此相对的磁极的连线垂直于对应针孔的深度方向且该连线穿过对应针孔。

7.根据权利要求1所述的承载台，其特征在于，所述磁体包括磁性本体和用于包裹所述磁性本体的壳体，所述壳体的材料为导电材料。

8.根据权利要求7所述的承载台，其特征在于，所述壳体的厚度在0.8mm至1.2mm之间。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的承载台，其特征在于，所述承载台本体包括基座部、承载部和压环部，

所述承载部设置在所述基座部上方，所述压环部设置在所述承载部的边缘部的上方以将所述承载部与所述基座部固定连接；

所述针孔贯穿所述基座部和所述承载部，所述磁体嵌入在所述基座部中。

10.一种等离子体设备，所述等离子体设备包括工艺腔室、承载台、支撑针和馈入电极，所述承载台设置在所述工艺腔室中，所述馈入电极与所述承载台电连接，其特征在于，所述承载台为根据权利要求1-9任意一项所述的承载台，所述支撑针能够在所述针孔内与所述承载台相对运动。