[发明专利]图像传感器及形成图像传感器的方法在审

专利信息
申请号: 201810610463.8 申请日: 2018-06-14
公开(公告)号: CN108831899A 公开(公告)日: 2018-11-16
发明(设计)人: 黄增智;龙海凤;李天慧;黄晓橹 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 田菁
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本公开涉及一种图像传感器,包括:半导体衬底,用于在其中形成光电二极管;反射部,位于所述半导体衬底之下并覆盖所述光电二极管的至少部分,所述反射部的上表面与所述半导体衬底的下表面直接接触;以及层间电介质层,位于所述反射部之下,所述层间电介质层的上表面与所述反射部的下表面直接接触,其中,形成所述反射部的材料的折射率介于形成所述半导体衬底的材料的折射率和形成所述层间电介质层的材料的折射率之间。本公开还涉及一种形成图像传感器的方法。本公开能够提高图像传感器的性能。
搜索关键词: 图像传感器 反射部 衬底 层间电介质层 半导体 折射率 光电二极管 上表面 下表面 覆盖
【主权项】:
1.一种图像传感器,其特征在于,包括:半导体衬底,用于在其中形成光电二极管;反射部,位于所述半导体衬底之下并覆盖所述光电二极管的至少部分,所述反射部的上表面与所述半导体衬底的下表面直接接触;以及层间电介质层,位于所述反射部之下,所述层间电介质层的上表面与所述反射部的下表面直接接触,其中,形成所述反射部的材料的折射率介于形成所述半导体衬底的材料的折射率和形成所述层间电介质层的材料的折射率之间。
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