[发明专利]一种有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法有效
| 申请号： | 201810601417.1 | 申请日： | 2018-06-12 |
| 公开（公告）号： | CN108766992B | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陈彩琴 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法，该制作方法包括：在衬底基板上形成屏蔽层；在所述屏蔽层上依次形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层、第二栅极、层间绝缘层；使用掩膜板对所述层间绝缘层进行图案化处理，以使所述层间绝缘层形成两个第一过孔；其中所述两个第一过孔的位置分别与所述源极和所述漏极的位置对应；在经过图案化处理后的层间绝缘层上依次形成源/漏极、平坦层、阳极、像素定义层及光阻间隙物。本发明的有源矩阵有机发光二极管显示器及其制作方法，能够减少显示器的整体厚度，降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 有源 矩阵 有机 发光二极管 显示器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种有源矩阵有机发光二极管显示器的制作方法，其特征在于，包括：在衬底基板上形成屏蔽层；在所述屏蔽层上依次形成缓冲层、有源层、第一栅极绝缘层、第一栅极、第二栅极绝缘层、第二栅极、层间绝缘层；使用掩膜板对所述层间绝缘层进行图案化处理，以使所述层间绝缘层形成两个第一过孔；其中所述两个第一过孔的位置分别与所述源极和所述漏极的位置对应；在经过图案化处理后的层间绝缘层上依次形成源/漏极、平坦层、阳极、像素定义层及光阻间隙物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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